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防火工程設計理念 無塵室製程設備之財產防護與無塵室人命安全防護並重之防火設計目標 運用空調系統及排煙設備之結合，控制煙流之設計系統 多重消防防護設計 火災緊急應變程序 避難逃生計畫 晶圓廠消防工程設計 ---國內外法規差異 1.製程設備及輔助設施之化學系統防護（CO2自 動滅火系統及FM200） 2.製程設備之警報或撒水系統防護 3.設置極早型預警系統，於ＲＡＰ回風處設偵 測點並配合定址式高感度偵煙探測器之警報 設計 4.排氣風管使用耐腐蝕金屬材質或撒水防護 5.製程氣體供應/儲存系統之氣瓶櫃使用火焰 式探測器及撒水防護並設置於遠離無塵室之 DLC防火結構內 6.考量整體氣流空間因子之煙控設計 特殊環境特性 垂直的循環空氣 低溫環境與正壓系統 潔淨室與潔淨室下層間有高架地板相通 空間的密閉性 必須保持class1至class1000等級的高潔淨度 火災情境 –消防設備作動流程一 Fab區的Wet Bench起火，應變人員在警報系統，或從監控螢幕取得現場實際狀況，確認火災是否發生 若為誤動作----則現場將設備復歸，關閉火警警鈴，使火警自動警報設備恢復正常使用狀態 若確認為真實火災----即立即以無線電回報應變中心，應變中心人員在指揮官指揮下，進行緊急廣播，請整棟建築物內人員緊急疏 散 消防設備作動流程 二 FAB區的We