《芯硕激光直接成像系统》.doc

Mercury2000P系列无掩膜光刻机 ? ? ? ??? ? 支持： ? ? ? 》第二代无掩膜光刻技术 ? ? 》全局对准功能 ? ? 》手动对准功能 ? ? 》预对准功能 ? ? 》对准补偿设定 ? ? 》高精度图形套刻匹配 ? ? 》全自动聚焦功能 ? ? 》灰度补偿功能 ? ? 》支持GDSII,CIF,DXF多种格式处理 ? ? 　　产品介绍:　 ? 　　芯硕Mercury系列无掩膜直写光刻设备基于先进的第二代光刻直写技术，通过空间光调制器扫描技术实现直写光刻。 ? ? 该系列产品主要应用于大规模集成电路150nm工艺节点以上掩膜版制作，亦可用于微纳加工、MEMS、LED、生物芯片等领域的直写光刻，在应用中省去了繁琐的掩膜加工步骤，相比单束直写具有效率高、技术先进、应用灵活等特点。该系列产品采用芯硕专利技术的大功率LD(波长405nm)光源，可达0.65um解析度和0.25um的套刻精度。 ? 　　?指标?: 　　 ? ? ? ? ? SEM效果图: ? Neptune280封装基板激光直接成像系统 支持： ? ? ? 》涨缩模式选择： ? ? ? ?1.无涨缩 ? ? ? ?2.固定涨缩 ? ? ? ?3.自动涨缩 ? ? ? ?4.固定分区间涨缩 ? ? ? ?5.分区域对位与设定涨缩? ? 》两面配合度自动对准 ? ? 》自动记录生产讯息与参数设定；用于查询统计与追溯 ? ? 》自动报错 ? ? 》可指定添加标记与批号 ? ? 》板子全面微形变时，图形因应调整功能 ? ? 》系统自动定期校正 ? ? 》联网远程问题点协助排除 ? ? 》可联线成自动线 ? ? 　　产品介绍: ? 　　芯硕LDI(Laser Direct Imaging) Neptune280系统，基于已经自主开发成熟的第二代光刻直写技术，通过空间光调制器扫描技术，实现多束激光直接成像，免除传统的底片制造，直接成像，在图像转移质量、生产周期和成本上，优于传统的工业，适用于先进封装基板黄光制程的激光直写成像系统，满足封装基板制造工艺中对精细化线宽和高精对准的要求。　　指标: ? ? 　　SEM效果: 10/10um线路SEM效果 LDI(Laser Direct Imaging) Tyche80系统 ? ? ??支持： ? ? ? 》涨缩模式选择： ? ? ? ?1.无涨缩 ? ? ? ?2.固定涨缩 ? ? ? ?3.自动涨缩 ? ? ? ?4.固定分区间涨缩 ? ? 》两面配合度自动对准 ? ? 》自动记录生产讯息与参数设定；用于查询统计与追溯 ? ? 》自动报错 ? ? 》系统自动定期校正 ? ? 》联网远程问题点协助排除 ? ? 》可联线成自动线 ? 　　产品介绍: ? 　　芯硕LDI(Laser Direct Imaging) Tyche80系统，基于已经自主开发成熟的第二代光刻直写技术，通过空间光调制器扫描技术，实现多束激光直接成像。免除传统的底片制造，直接成像，在图像转移质量、生产周期和成本上，优于传统的工业。产品适用于： ? ? 1)高精密、ANY LAYER的HDI； ? ? 2)少量多样、高稼动率的Sample、QTA； ? ? 3)用于量产的Tyche 80HS，全自动化激光直接成像解决方案，给用户带来更大的收益； ? ? 4)适用于PCB全制程图像的转移。 ? ? 　　指标: ? 　　SEM效果 ? 30/30um线路SEM效果 LDI (Laser Direct Imaging) Saturn90系统 ? ? ? ? ? ??支持： ? ? 》涨缩模式选择： ? ? ? ?1.无涨缩 ? ? ? ?2.固定涨缩 ? ? ? ?3.自动涨缩 ? ? ? ?4.固定分区间涨缩 ? ? ? ?5.分区域对位与设定涨缩 ? ? 》两面配合度自动对准 ? ? 》自动记录生产讯息与参数设定；用于查询统计与追溯 ? ? 》自动报错 ? ? 》可指定添加标记与批号 ? ? 》板子全面微形变时，图形因应调整功能 ? ? 》系统自动定期校正 ? ? 》联网远程问题点协助排除 ? ? 》可联线成自动线 ? ? 　　产品介绍: ? 　　芯硕LDI(Laser Direct Imaging) Saturn90系统，基于已经自主开发成熟的第二代光刻直写技术，通过空间光调制器扫描技术，实现多束激光直接成像。免除传统的底片制造，直接成像，在图像转移质量、生产周期和成本上，优于传统的工业。产品适用于： ? ? 1)高精密、ANY LAYER的HDI； ? ? 2)少量多样、高稼动率的Sample、QTA； ? ? 3)用于量产的Saturn 90HS，全自动化激光直接成像解决方案，给用户带来更