纳米级加工技术方案.ppt

最近新发展的金属结合剂砂轮的在线电解修整砂轮的ELID镜面磨削技术可以加工出Ra(0.02-0.002) ? m的镜面。 精密研磨抛光可以加工出Ra(0.01-0.002) ? m的镜面。量块、集成电路的硅基片等都是用精密研磨得到高质量表面。 二、电子束、离子束和激光加工 可用于刻蚀、打孔、切割、焊接、表面处理和表面改性等． 电子束加工时，被加速的电子将其能量转化成热能以去除穿透层表面的原子，电子束可以聚焦成很小的束班(中0.1?m)，照射敏感材料，用电子刻蚀可加工出0.1? m的线条宽度而在制造集成电路中实际应用。 电子束和离子束加工 离子束加工时，因离子直径为0.1n m数量级，故可以直接将工件表面原子碰撞出去达到加工的目的。用聚焦的离子束进行刻蚀，可以得到精确的形状和纳米级的线条宽度。 电子束加工 电子束利用热效应加工 高速和高能量密度的电子束冲击工件表面，在几分之一秒内与原字相互作用。 电子与原子碰撞，使原子振动产生发热现象 几乎所有的能量都转化为热能。 由于电子束能量密度高，作用时间短，所产生的热量来不及传导、扩散就将工件被冲击部分局部熔化、汽化、蒸发成雾状粒子而飞散。 电子束加工原理图 控制栅极 加速阳极 电子束斑点 旁热阴极 聚焦系统 工件 工作台 如果有一种超微型镊子，能够钳起分子或原子并对它们随意组合，制造纳米机械就容易多了。 科学家用DNA制造出了一种纳米级的镊子。利用它将可以制造出分子大小的电子电路，使未来的计算机体积更小，运算速度更快。 匪夷所思的DNA镊子 纳米存储器，存储密度可达每平方厘米10万亿字节。 国外纳米技术进展 朗讯公司和牛津大学: 纳米镊子 碳纳米管“秤”，称量一个病毒的重量 称量单个原子重量的“纳米秤” 机器人配备纳米“大脑” 美国军方日前公布了取名为“毫微科技战士”研发计划，希望十年内打造出目前只能在电子游戏中才能看到的刀枪不入的“超级战士”。美国未来“超级战士”可能配备的装备有：埋有传感器的头盔，使士兵多只后眼不至于被打闷棍；藏有微处理器和药包的军服，自动感知士兵身体情况并敷药；有微涂层的军服可以抵抗生化武器袭击；由“铰合分子”制造的比人体肌肉强壮10倍的“肌肉”，这种人造肌肉一旦装到手套、制服和军靴里，跳过高墙不在话下。 “纳米科技战士” 这种人手模型上的聚合体遇电会收缩弯曲，可装备在作战服上作为“辅助肌肉”增强士兵跳跃、搬运的能力，同时也可用于战场急救。 　 用纳米技术制造出防水布料。用这种超薄布料制成的作战服几乎感觉不到重量，而现在一名全副武装的美军士兵负重介于90到120磅之间。另外根据磁场变化的原理，科学家们正在研制通常状态下柔软舒适，一旦侦测到弹道威胁时立刻强化僵硬的装甲系统。 未来的美军作战服可能就是这个样子 纳米科技的战略地位 21世纪前20年，是发展纳米技术的关键时期，纳米技术将成为推动社会经济各领域快速发展的主导技术。目前，纳米技术已经成为全世界非常关注的技术，纳电子代替微电子，纳加工代替微加工，纳米材料代替微米材料，纳米生物技术代替微米尺度的生物技术。只有认识它、发展它，才有可能在未来经济竞争的格局中占据主动。 计算机技术从20世纪70年代开始，每5—7年都有一个大变化。一是每18个月单位面积存储信息量要增加一倍，而且价格更便宜；二是计算机每隔5—7年尺寸要缩小10倍，价格便宜10倍，同时计算的速度提高10倍。 1998年，美国明尼苏达大学率先研制出量子磁盘。一个量子磁盘只有100纳米大小，完全是纳米阵列，它的存储密度是465G，一个量子磁盘相当于我们现在的磁盘10万个到100万个。这样一个器件，就要用纳米材料，在纳米尺度内加工。 纳米技术将成为21世纪的主导技术 节约资源、节约能源、净化环境是下一次工业革命的必然趋势。在下一次工业革命中要想节约资源、能源，就要用纳米尺度的材料做成器件，它的特点是工具小、节省材料、能耗低。纳米技术在新的工业革命当中将发挥重要的作用。 从纳米产业未来的市场发展来看，世界各国正在纷纷抢占纳米产业这个巨大的市场。 全球纳米技术产业的年产值已经接近1000亿美元，据估计，到2010年美国要培养80万真正懂纳米科技的人才，纳米科技对美国国民生产总值（GDP）的贡献要达到1万亿美元，并提供200万个就业机会。 科技革命带来的必然结果是引起新的产业革命，而产业革命又必然带来经济的巨大变化和迅速发展。随着纳米科技的产生和发展，一场新的工业革命即将发生。 纳米科技在21世纪的经济舞台上将扮演举足轻重的角色 。 “纳米经济”“钱”途广——纳米科技对经济发展的影响 纳米技术在美国 2010年: 80万纳米科技人才,GDP1万亿美元, 200万个就业机会 能源部的8项优先研究中，6项有关