第3章 数控位置检测装置.ppt

（2）方向性好。普通光向四面八方发光，而激光散射角很小，几乎与激光器的反射镜面垂直。如配置适当的光学准直系统，其发散角可小到10-4rad以下，几乎是一束理想平行光； （3）高度单色性。普通光源包括许多波长，所以具有多种颜色。如日光包含红、橙、黄、绿、青、蓝、紫七种颜色，其相应的波长从760~380nm。激光的单色性高，如氦氖激光的谱线宽度只有10-6nm。 （4）高亮度。激光束极窄，所以有效功率和照度特别高，比太阳表面高200亿倍以上。由于激光具有以上特点，因而广泛应用于长距离，高精度的位置检测。 1.激光干涉法测距原理根据光的干涉原理，两列具有固定相位差、相同频率、相同的振动方向或振动方向之间夹角很小的光相互交叠，将会产生干涉现象。如图3.22所示，由激光器发射的激光经分光镜A分成反射光束S1和投射光束S2。两光束分别由固定反射镜M1和可动反射镜M2反射回来，两者在分光镜处汇合成相干光束。若两列光S1和S2的路程差为Nλλ为波长，N为零或正整数），实际合成光的振幅是两个分振幅之和，光强最大，如图3.23（a）所示。当S1和S2的路程差为λ/2（或波长的奇数倍）时，合成光的振幅和为零，如图3.23（b）所示，此时光强最小。 图3.22 激光干涉法测距原理图图3.23 激光干涉法测距波形图激光干涉仪就是利用这一原理使激光束产生明暗相间的干涉条纹，由光电转换元件接受并转换为