静电消除器於膜厚量测设备之应用与改善.doc

靜電消除器於膜厚量測設備之應用與改善 ? Keywords: 靜電消除器(Ionizer) 低溫多晶矽平面顯示器(LTPS TFT-LCD) 靜電放電(Electrostatic Discharge, ESD) ? ? 工業技術研究院電子工業研究所 郭侃誠、蕭名男、江志強、王志延、莊蕙端 2002-10-28 ? ? 目錄 一、 摘要 二、 簡介 三、 實驗儀器與設備 四、 實驗方法與驗證 五、 結果與改善 六、 結論 七、 參考文獻 ? ? ? 一. 摘要 靜電的累積與放電對電子元件品質特性或產品良率有嚴重影響，而工研院電子所目前研發低溫多晶矽平面顯示器(LTPS TFT-LCD)技術，靜電更可能對玻璃基板產生莫大的影響。一般用於半導體或光電產業的生產製造設備，都會裝置靜電消除器(ionizer)，但其效果卻甚少確認。於本文中，我們以電子所之膜厚量測設備靜電消除器為例，統計檢定(statistical test)、p-value與信賴區間(confidence level)方法為助，探討靜電消除器操作頻率及工作距離之變化對靜電去除效果之影響，研究CDA流量、離子風出口位置對其結果之影響，並據此改善現況。 ? 二. 簡介 光電及半導體產業中，良率是每個量產廠所關切的問題，但除了產品本身及製程之設計外，還有另外兩個重要之關鍵，即是靜電效應與微粒