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一、部分技术参数
二.系统结构设计思路
2.1 系统结构框图
2.2 等效光路原理图
三.外形尺寸计算
四.光学部件的结构形式
五.光学系统的拼接和优化
5.1物镜设计及优化
5.2 目镜设计及优化
5.3 显微镜组合及优化
5.4 加半五角棱镜后的显微系统
六、样板测试
6.1 物镜套样板
6.3 组合
6.2 目镜套样板
七、公差分析
八、结果评价
设计说明书
一、部分技术参数
(1)目镜放大率 12
(2)沿光轴,物镜第一个面到目镜最后一面沿光轴的几何距离(毫米) 150
(3)分辨率为(微米) 2.6
(4)其它参数自定
二.系统结构设计思路
2.1 系统结构框图
物体经物镜所成的放大的实像与分划板重合,两者一同经目镜成一放大的虚像。棱镜的型式为斯米特屋脊棱镜,它能使系统成正像,并且使光路转折45°角,以便于观察和瞄准(此处可以不加设计)。为避免景深影响瞄准精度,物镜系统采用物方远心光路,即孔径光阑位于物镜像方焦面上。
(图1 显微镜系统结构图)
2.2 等效光路原理图
(图2 显微镜无光轴偏转的等效光路图)
三.外形尺寸计算
1)首先绘出光学系统的等效光路原理图。如图所示,首先将棱镜作为等效空气平板处理。
2)求实际放大率。根据设计要求所给的分辨率可求出显微镜的有效放大率和实际放大率。为防止显微镜分辨率不合格,所以取实际放大率为有效放大率的四倍。
系统有效放大率
取实际放大率为
3)求数值孔径
4)求物镜和目镜的放大率
目镜的放大率
物镜的放大率
5)求目镜的焦距
6)求视场光阑(分划板)的直径D,考虑到像质及物方线视场的大小,取视场光阑的直径
7)求物镜的焦距(理想系统光路中,由光学筒长)
由高斯公式
8)求半五角棱镜的各尺寸(此次不设计)
半五角棱镜结构常数 K=1.707
展开后的平板厚度 L=K*D=1.707*5.5=9.3885
平行平板的等效空气层厚度 d’=L/n=9.3885/1.33=7.06 mm
四.光学部件的结构形式
1)显微镜物镜的光学性能参数
主要性能参数是:数值孔径,垂轴放大率,视场。
(图3 显微物镜)
2)显微镜目镜的光学性能参数
像方视场角 , 焦距, 出瞳距,工作距离
(图4 显微目镜)
选取对称式目镜,如上图所示
五.光学系统的拼接和优化
5.1物镜设计及优化
①在物镜库中选取符合10倍放大率,焦距在11.7mm左右的镜头,输入参数,经过优化后物镜成品参数图如图5所示
(图5 显微物镜参数)
(备注:由于优化过程复杂,物镜的焦距有变化,但可以保证放大率)
②设置物方数值孔径NA=0.2限制。设置物高为0.6mm,取3条权重均为1的特殊光线,光路图如图6所示,物镜共轭距为135mm左右,基本满足设计要求。
(备注:最后在合成时为了使系统成像更加清晰,优化后系统共轭距为135.46559mm,焦距为45.62139mm
(图6 显微物镜光路图)
(图7 显微镜物镜数据)
③设置评价函数为默认类型,并限制PMAG放大率为为-10,物镜部分性能函数如图8图9,可见物镜成像较为会聚满足设计要求
(图8 物镜标准点列图)
5.2 目镜设计及优化
①目镜的视放大率为12倍,焦距为20.883mm因目镜成像于无穷远处,为便于分析成像质量,在目镜后添加一块理想透镜对目镜的像进行会聚,参数和光路图如图10图11所示
(图10 显微目镜参数)
(图11 显微目镜光路图)
②目镜的数据如图12,实际焦距为20.479mm
(图12 显微目镜数据)
③目镜成像分析
从光路图中可看出目镜对近轴光线放大后成像效果较好,而对离光轴较远处的光线成像不好,表现在出射光不平行
目镜点列图如图13,物点对于两条远轴光线成像为像斑,成像较差。
(图13 显微目镜点列图)
5.3 显微镜组合及优化
①选择将目镜拼接至物镜的方法,并适当修改分划板到目镜的距离使系统长度在260mm,并优化理想透镜的物距使成像为一点,优化后参数及光路图如图14图16所示,成像细节如图15所示
(图14 显微镜优化后参数)
(图15 显微镜成像细节)
从成像细节上不难看出近轴出射光线基本满足平行光,且较好地汇聚在了像屏上,而边缘光线汇聚情况较差。由于显微镜系统用到的视场只有中间部分,故边缘部分像质可以稍差。
(图16 显微镜光路图)
②显微镜系统数据(仅从目镜最后一面到物面沿光轴的部分)如图18所示,从目镜最后一面到物面沿光轴的几何距离为152.42mm,与要求150mm相比误差极小,放大率是-1.6402,基本上要求的总放大率。
(图17 显微镜结构数据)
(图18
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