材料分析方法9-透射电镜试样的制备.ppt

材料现代分析方法TEM试样的制备 河北工业大学　　材料学院 孙继兵 E-mail: hbgdsjb@126.com Tel: 022TEM试样的制备 电子束对薄膜样品的穿透能力和加速电压有关。当电子束的加速电压为200kV时，就可以穿透厚度为500nm的铁膜，如果加速电压增至l000kV，则可以穿透厚度大致为1500nm的铁膜。 从图像分析的角度来看，样品的厚度较大时，往往会使膜内不同深度层上的结构细节彼此重叠而互相干扰，得到的图像过于复杂，以至于难以进行分析。 如果样品太薄则表面效应将起着十分重要的作用，以至于造成薄膜样品中相变和塑性变形的进行方式有别于大块样品。 因此，为了适应不同研究目的，应分别选用适当厚度的样品，根据样品的原子序数大小不同，一般在5～500 nm之间。 第一节　复型技术 一、制备复型的材料条件 二、质厚衬度原理 三、复型的类型 一、制备复型的材料条件 第一是复型材料本身必须是非晶态材料。晶体在电子束照射下，某些晶面将发生市拉格衍射，衍射产生的衬度会干扰复型表面形貌的分析。 第二是复型材料的粒子尺寸必须很小。复型材料的粒子越小，分辨率就越高。例如，用碳作复型材料时，碳粒子的直径很小，分辨率可达2nm左右。如用塑料作复型材料时，由于塑料分子的直径比碳粒子大得多，因此它只能分辨直径比10-20nm大的组织细节。 第三是复型材料应具备耐电子轰击的性能，即在电子束照射下能保持稳定，不发生分解和破坏。 二、质厚衬度原理 衬度：是指荧光屏或照相底片上，眼睛能观察到的光强度或感光度的差别。 电子显微图像的衬度取决于投射到荧光屏或照相底片上不同区域的电子强度差别。 电子与试样的散射 入射电子束与试样相遇时，电子将与组成试样物质中的原子相互作用，作用的结果使电子的方向和能量发生改变，这个现象称为散射。 透射电子显微镜小孔径角成像 由于入射电子和原子核作用时，进入正电场的位置不同，散射角的大小也不同，散射角较大的电子容易被物镜光阑挡住，因此成像的电子是能通过光阑的散射角较小的电子。 复型衬度＝非相干弹性散射＋小孔径角光阑 电子束通过非晶体样品时，发生非相干弹性散射。 如果照射位置处的样品比较厚，则发生弹性散射的几率较多，相应的散射角大于a的电子也愈多，而参与成像的电子却变少，使荧光屏上该处的亮度变暗。 厚→暗 如果被电子束照射的部位比较薄，那么散射到光阑孔外的电子数少，成像的电子多，荧光屏上亮度就亮。 薄→亮 质厚衬度 入射电子的散射几率不仅和样品的厚度有关，而且和构成样品物质的密度有关。 对于非晶体样品来说，样品原子核库仑电场越强（或样品原子序数越大或密度越大），被散射到物镜光阑外的电子就越多，而通过物镜光阑参与成像的电子强度也就越低。 三、复型的类型 在样品上滴几滴体积浓度为1％的火棉胶醋酸戊酯溶液或醋酸纤维素丙酮溶液，多余的溶液用滤纸吸掉，待溶剂蒸发后样品表面即留下一层100nm左右的塑料薄膜。 （二）碳一级复型 1）把样品放入真空镀膜装置中蒸镀厚度为数十纳米的碳膜。 2）用在样品旁边的乳白瓷片的颜色变化来估计。在瓷片上滴一滴油，油滴部分的瓷片不沉积碳。瓷片呈浅棕色时，碳膜的厚度正好。 3）把碳膜用小刀划成对角线小于3mm的小方块。 4）把样品放入分离液内进行电解或化学分离。 电解分离时，样品通正电做阳极，用不锈钢平板做阴极。 化学分离时，最常用氢氟酸双氧水溶液。 碳膜剥离后也必须清洗，然后才能进行观察分析。 2、塑料-碳二级复型 先制成中间复型（一次复型），然后在中间复型上进行第二次碳复型，再把中间复型溶去，最后得到的是第二次复型。 特点： 第一，不破坏样品的原始表面； 第二，最终复型是带有重金属投影的碳膜，稳定性和导电导热性都很好； 第三，分辨率和塑料一级复型相当； 第四，最终的碳复型厚度约为10nm的薄层，是通过溶解中间复型得到的，不必从样品上直接剥离，制作简便。 复型样品的形貌 3、萃取复型 适用于：对第二相粒子形状、大小和分布进行分析的同时对第二相粒子进行物相及晶体结构分析。 做碳一级复型，但是要求： 样品应进行深腐蚀，使第二相粒子容易从基体上剥离。 喷镀碳膜应稍厚，约20nm左右，以便把第二相粒子包络起来。 蒸镀过碳膜的样品用电解法或化学法溶化基体。 第二节　粉末样品的制备 1、胶粉混合法 在干净玻璃片上滴火棉胶溶液， 然后在玻璃片胶液上放少许粉未并搅匀， 再将另一玻璃片压上， 两玻璃片对研并突然抽开，稍候，膜干。 用刀片划成小方格， 将玻璃片斜插入水杯中， 在水面上下空插，膜片逐渐脱落， 用铜网将方形膜捞出，待观察。 2、粉碎和分散方法 将试样在玛淄研钵中研碎。 将研碎的薄片放入与试样不发生反应的有机溶剂(例如，丁醇、丙酮等)中，用超声波(为了简单，也可以用玻璃棒搅拌)