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- 2016-12-19 发布于天津
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* * 样品室(sample champ) 扫描电子显微镜的样品室空间较大,为适应断口实物等大零件的需要,近年来还开发了可放置尺寸在?90mm以上的大样品台。 观察时,样品台可根据需要沿X、Y 及 Z三个方向平移,在水平面内旋转Rotation或沿水平轴倾转 Tilt。 样品室内除放置样品外,还安置备种信号检测器。 信号的收集效率和相应检测器的安放位置有很大关系,如果安置不当,则有可能收不到信号或收到的信号很弱,从而影响分析精度。 新型扫描电子显微镜的样品室内还配有多种附件,可使样品在样品台上能进行加热、冷却、拉伸等试验,以便研究材料的动态组织及性能。 * * 信号收集和显示系统 信号收集和显示系统包括各种信号检测器,前置放大器和显示装置,其作用是检测样品在入射电子作用下产生的物理信号,然后经视频放大,作为显像系统的调制信号,最后在荧光屏上得到反映样品表面特征的扫描图像。 检测二次电子、背散射电子和透射电子信号时可以用闪烁计数器来进行检测,随检测信号不同,闪烁计数器的安装位置不同。闪烁计数器由闪烁体、光导管和光电倍增器所组成。当信号电子进入闪烁体时,产生出光子,光子将沿着没有吸收的光导管传送到光电倍增器进行放大,后又转化成电流信号输出,电流信号经视频放大器放大后就成为调制信号。 由于镜筒中的电子束和显像管中的电子束是同步扫描,荧光屏上的亮度是根据样品上被激发出来的信号强度来调制的
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