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机械泵 扩散泵 真空检测装置 真空阀门 * 第二章 透射电子显微镜 (Transmission Electron Microscope TEM) 第一节　透射电子显微镜的基本构造 第二节　透射电镜的成像原理 第三节　透射电镜的性能与应用 第一节　透射电子显微镜的基本构造 电子光学系统 (镜筒) 真空系统 电路系统 教学目的与要求 了解透射电子显微镜的基本构造 了解电子枪的基本要求、聚光镜的作用 掌握与灯丝寿命相关的因素 掌握电镜要求其通道必须是高真空的原因 理解物镜的重要性 理解机械式旋转泵和油扩散泵的工作原理 Hitachi超高压透射电子显微镜 世界上第一台电子显微镜TEM 日立H-7600透射 电子显微镜 日立H-7500透射 电子显微镜 DXB2--12 philips CM200-FEG型 场发射透射电子显微镜 JEM—100型透射电镜 透射电镜的基本组成部分 照明系统 样品室 成像系统 观察记录系统 电子枪 聚光镜 物　镜 中间镜 投影镜 观察室 照相机构 真空泵 机械式旋转泵 油扩散泵 真空管道开关阀门 真空测量 小电流高压电源 大电流低压电源 电子光学系统（镜筒） 真空系统 电路系统 透射电镜结构简图 1. 高压电线 2. 电子枪室 3. 第一聚光镜 4. 第二聚光镜 5. 物镜光阑 6. 样品臂 7. 物镜 8. 第一中间镜 9. 第二中间镜 10. 投影镜 11. 观察窗 12. 观察室 13. 荧光板 14. 底片盒 一.电子光学系统 （一）照明系统 阴极（接负高压） 栅极 （比阴极负100~1000伏） 阳极 电子束 聚光镜 试样 电子枪 1.电子枪 要求： （１）有足够的发射强度，发射的电子束截面积小 （２）电子束的强度是可调的 （３）为了减少色差，要求加速电压有很高的稳定度 电子枪的组成 电子枪是电子光源的发射装置 阴极 由 栅极 组成 阳极 电子枪的类型 热发射 冷发射 场发射 １）阴极 阴极是钨丝（直径0.10~0.12mm）制成的极细小的V型灯丝，当通以几安培的电流加热到2227oC以上时，其尖端即发射出电子束，成为电镜的光源。 5 2627 8 2567 12 2527 16 2487 寿命（小时） 工作温度（oC） 影响灯丝寿命的因素有： （１）与工作温度 有密切关系 （２）与仪器的真空度有关 ２）栅极 栅极位于阴极和阳极之间 由一个中央有孔的圆金属筒构成 作用：控制电子发射的强度，并将阴极发射的电子 束挤压成直径小于10Oμm的束流，这个极微小 电子束的集合点 (又称交叉点)就是电镜的真 正光源 ３）阳极 阳极与阴极之间有极大的电位差，为接地电位 作用： 可对电子束产生巨大的加速作用 调节电子波长的作用，阳极的电压越高，电子波长 越短，电镜的分辨力就越高。 ２.聚光镜 聚光镜的作用 一般电镜装有两个聚光镜 会聚来自电子枪的电子束并以最小的能量损失投射 到样品上 控制照明束斑和孔径角的大小 第一聚光镜是短焦距强磁透镜，其作用是把光斑直 径聚集到1μm以下 第二聚光镜是长焦距弱磁透镜，其作用是把光斑直 径再稍放大到2.5μm左右，并使其正焦照到样品 的表面，再通过调节活动光阑来改善孔径角，以 减少电子束对样品的辐射损伤 （二）样品室 作用：稳定地承载样品和水平移动样品 类型：顶落式和侧插入式 顶落式的可以把物镜极靴的空隙做得非常狭窄，能 提高分辨力；且物镜极靴能侧开口，因而可以放倾 斜样品台 侧插入式操作简单，备有多种样品杆，如:倾斜的、 可加热的或可冷却的，以及旋转的等，以供不同需 求 　 为了在换样品时不至破坏整个镜筒的真空，样品室单设有气锁装置，使电镜观察时换样品简便易行。 气锁装置 （三）成像放大系统 电子枪 聚光镜 物镜 中间镜 投影镜 成像放大系统 照明系统 作用 是获得高分辨率和高放大倍数的核心组件，对样品成像和放大 组成 物镜 中间镜 投影镜 成像透镜 消像散器 1.物镜 物镜是短焦距强磁透镜（焦距3~7mm） 作用：把样品的精细结构的信息作第一次约50~60倍 的放大，称初级放大像 注意： 对物镜的精确度和清洁度等要求极高 为什么？ 物镜极靴是物镜中的关键部件，其作用是保持磁 场的轴对称，并防止产生磁饱和现象 物