2016薄膜物理课件蒸发源的类型.pptVIP

蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 蒸发源的类型 第四节　合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 一、合金的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 合金及化合物的蒸发 * 二、电子束蒸发源 电阻加热蒸发源缺点 (1) 来自加热装置、坩埚等可能造成的污染 (2) 电阻加热法的加热功率或加热温度也有一定的限制 电子束蒸发克服了电阻加热法的上述两个缺点，特别适合制备 高熔点薄膜材料和高纯薄膜材料 要制备纯度很高的薄膜材料，以及蒸镀某些难熔金属和氧化 物材料时，采用电阻加热蒸发源不能满足要求 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 电子束蒸发是将蒸发材料放入水冷铜坩埚中，直接利用电子束 加热，使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面成膜，是真空