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显微技术及电子显微镜 王丹丹 主要内容 电子显微镜 透射电子显微镜的结构及原理 扫描电子显微镜的结构及原理 扫描隧道显微镜的结构及原理 显微镜的发展 光学显微镜（17世纪） 电子显微镜（1932年，1952年） 扫描隧道显微镜（1981年） 光学显微镜的原理 光学显微镜的结构 显微镜的基本概念 分辨率：能够把两个点分辨开的最小距离。 放大倍数：显微镜经多次成像后最终所成像的大小相对原来物体大小的比值。 有效放大：对于某一显微镜来说，在其分辨能力之内的图像放大。此时的图像放大不失图像表面的细节。 无效放大：在显微镜分辨能力以外的图像放大。只是放大了图像轮廓，不能放大和分辨图像的表面细节。 电子显微镜 加速电压与电子波长 加速电压（kV） 电子波长（A） 加速电压（kV） 电子波长（A） 25 0.076 200 0.025 50 0.054 500 0.014 75 0.043 1000 0.0087 100 0.037 3000 0.0036 电子显微镜（EM） 1932年，德国科学家Max knoll和Ernst Rusha 制成了世界上第一台透射电子显微镜（transmission electron microscope ,TEM). 1952年，英国工程师charles Oatley 制造了第一台扫描电子显微镜(scanning electron microscope, SEM). TEM的工作原理 原理：与光学显微镜相似，不同的是透射电子显微镜用电子束作为光源，用电磁场作透镜。 电子束投射到样品时，可随组织构成成分的密度不同而发生相应的电子散射，如电子束投射到质量大的结构时，电子被散射的多，因此投射到荧光屏上的电子少而呈暗像，电子照片上则呈黑色，称电子密度高。反之，则称为电子密度低。 ＴＥＭ 的 结 构 照明系统 成像系统 真空系统 供电系统 机械系统 观察显示系统 1.照明系统 照明系统主要由电子枪和聚光镜组成。 电子枪是发射电子的照明光源。 聚光镜是把电子枪发射出来的电子会聚而成的交叉点进一步会聚后照射到样品上。 照明系统的作用就是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 电子枪的结构及工作原理图 1）阴极 又称灯丝，一般由0.08~0.18mm钨丝作成V或Y形状。 聚光镜 由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极后，逐渐变粗，射到试样上仍然过大。 聚光镜有增强电子束密度和再次将发散的电子会聚起来的作用。 多为磁透镜，调节其电流控制照明光斑的大小，使在不同的放大倍数下只照明样品的被观察部分，减少样品不必要的加热和污染。 电 磁 透 镜 的 结 构 2.成像系统 由电子透镜组成，是能使电子束聚焦的装置。 电子透镜是电镜的核心部件，其工作方式是利用复杂的电极和线圈结构形成静电场和磁场。 电子透镜存在各种像差（aberration），这是影响成像质量的主要因素。 电子透镜根据其作用又分为物镜、中间镜和投影镜。 （1）物镜 成一次像。 决定透射电镜的分辨本领，要求它有尽可能高的分辨本领、足够高的放大倍数和尽可能小的像差。 通常采用强激磁，短焦距的物镜。 放大倍数较高，一般为100～300倍。 目前高质量物镜分辨率可达0.1nm左右 电子显微镜与光学显微镜的光路比较 3.真空系统 4.供电系统 透射电镜需要两部分电源：一是供给电子枪的高压部分，二是供给电磁透镜的低压稳流部分。 电源的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重要的标志。所以，对供电系统的主要要求是产生高稳定的加速电压和各透镜的激磁电流。 近代仪器除了上述电源部分外，尚有自动操作程序控制系统和数据处理的计算机系统。 5.机械系统 包括电镜座、标本室、磁屏蔽外壳、镜筒、制冷系统和控制台等。 由于电子易散射或被物体吸收，故穿透力低，必须制备更薄的超薄切片（通常为50～100nm）。 6.观察记录系统 人眼无法观测电子，TEM中的电子信息通过荧光屏和照相底版转换为可观察图像。 硅的晶格排布 应 用 在生物医学中主要用于观察组织和细胞内的亚显维结构、蛋白质、核酸等大分子的形态结构及病毒的形态结构。 是区别细胞凋亡与细胞坏死的最可靠的办法。 光镜、透射电镜和扫描电镜的工作原理图 二次电子探