2第二章CCD原理.ppt

2.3 CCD的电荷耦合 1.电荷传输原理 电荷耦合就是电荷转移。 通过将一定规则的变化的电压加到CCD各电极上，电极下的电荷包就能沿半导体表面按一定方向移动。 通常把CCD电极分为几组，每一组称为一相，并施加同样的时钟脉冲。 电荷耦合：移位寄存器中电荷在外加栅压有序的变化下，从一个电极的势阱向下一个电极下的势阱转移的现象。 电荷耦合的电极间隙长度小于3μm。 2.CCD的电极结构 基本结构应包括：转移电极结构、转移沟道结构、信号输入结构和信号检测结构。 ①电极的作用：在驱动信号作用下使电荷定向转移，相邻势阱耦合。 耦合是一个动态过程。 电极必须满足使电荷定向转移和相邻势阱耦合的基本要求。 ② 电极的种类： 四相CCD: 提高转移效率而研制，比较复杂； 三相CCD：3个电极，三相驱动； 三相单层铝电极结构 二相CCD：2个电极，2相驱动； 被测物 光学系统2 CCD2 光学系统1 重叠部分 体沟道CCD 被测物 光学系统2 CCD2 光学系统1 重叠部分 表面沟道CCD（SCCD）的信号电荷只在贴近界面的极薄衬底内运动，由于界面处存在陷阱，信号电荷转移过程中将受到影响，从而降低了器件的工作速度和转移效率； 体沟道CCD（BCCD）在半导体体内设置信号的转移沟道，减轻或避免了上述问题。 2.CCD的电极结构 二相CCD： 优点：驱动脉冲简单； 在相同时钟频率下，电荷转移一位所需时间较短； 二相芯片布线简单，面积小。 特点：制造工艺技术性强（为防止电荷倒流） ③电极的影响：转移效率、功耗、速度 2.4电荷的检测 也叫电荷的输出，但不能以电荷的形式输出， 将到达输出端的电荷变换为电流或电压输出 1、检测电路分类 ①电流输出结构（直接型） ②浮置扩散放大器输出结构：选通电荷积分结构。特点：放大器与CCD同作在一个硅片上，信号电荷直接控制放大器（直接型） ③浮置栅放大器输出：特点：放大器与工作情况由感应电荷控制，而不是由信号电荷直接控制（非直接型），非直接型对信号电荷无破坏性。性能：传输效率高 CCD在信号转移过程中与时钟信号没有任何电容耦合，而在输出端则不可避免； 选择合适的输出电路，尽可能地减小时钟脉冲对输出信号的容性干扰； 目前CCD主要采用电流输出方式的电路。 电流输出结构 由检测二极管、二极管的偏置电阻R、源极输出放大器和复位场效应管VR等单元构成； 信号电荷在转移脉冲的驱动下转移到最末一级转移电极CR2中； 当CR2电极上的电压由高变低时，信号电荷便通过输出栅下的势阱进入反向偏置的二极管中。 电流输出结构 由电源UD、电阻R、衬底P和N+区构成的输出二极管反向偏置电路，它对于电子来说相当于一个很深的势阱； 进入方向偏置二极管中的电荷，将产生电流Id； Id的大小与注入二极管中的信号电荷量QS成正比，而与R成反比。 Qs=Iddt 电流输出结构 Id越大，A点电位下降得越低； 可以用A点的电位来检测注入到输出二极管中的电荷Qs； 隔直电容将A点的电位变化取出，使其通过场效应放大器的OS端输出。 电流输出结构 复位场效应管VR用于对检测二极管的深势阱进行复位； 电阻R的大小对于检测的影响； 复位场效应管在复位脉冲RS的作用下使复位场效应管导通，它导通的动态电阻远小于偏置电阻的阻值，以便使输出二极管中的剩余电荷通过场效应管流入电源，使A点的电位恢复到起始的高电平，为接收新的信号电荷做好准备。 2、电荷检测原理 3、CCD输出信号特点*重点 ①每个象素的输出信号浮置在一个正的直流电压上(如：5V),信号电平在几十∽几百mV变化，呈单极性负向变化。 ②输出信号随时间轴按离散形式出现，每个电荷对应一个象元，中间由复位电平隔离（信号包含复位脉冲干扰）。 ③将空间分布光学图像变换为按时间分布的离散电压信号。 电压输出 4、关于电荷读出（检测）电路噪声问题 ①复位开关管交替导通、截止产生热噪声 ②馈通电压含噪声（起伏） 采用相关双采样可以抑制复位噪声和其它低频噪声 CCD 的工作过程 4. 信号电荷输出，转化成电流或电压信号。 背照明光输入 1电荷生成 2电荷存储 3电荷转移 复位 输出 4电荷检测 半导体 CCD传感器 给普通LED灯泡装上微芯片，可以控制它每秒数百万次闪烁，亮了表示1，灭了代表0。由于频率太快，人眼觉察不到，但光敏传感器却可以接收这些变化，二进制的数据被快速编码成灯光信号，灯光下的电脑，通过特制的接收装置，读懂灯光里的信息。 LIFI（Light Fidelity），全称为可见光无线通信，又称光保真技术 复旦大学研究人员将网络信号接入一盏1W