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无尘室使用管理 东莞奕华电子有限公司---生技科 无尘室使用与管理 无尘室有称为净房 无尘室使用与管理 无尘室温湿度/洁净度要求 无尘室使用与管理 无尘室污染源分类 无尘室使用与管理 外污染源防止 无尘室使用与管理 尘埃排除方法 无尘室使用与管理 无尘室运转管理 无尘室使用与管理 作业人员之管理 无尘室使用与管理 无尘室使用与管理 无尘室使用与管理 不能带进无尘室之物品 无尘室使用与管理 无尘室使用与管理 无尘室使用与管理 无尘室使用与管理 无尘室使用与管理 有下列健康状态或体质者原则上不能进入无尘室 无尘室使用与管理 最适宜进入无尘室工作 的人员 无尘室使用与管理 无尘室各系统维护保养管理 无尘室使用与管理 无尘室各系统维护保养管理 无尘室使用与管理 g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。 h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露 　生锈。 i.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进 　行，并加隔离栅隔离。 j.对于施工或维修之厂商，应告知进出无尘室之各项规定，且 　负责工程师应随侍在侧监工。 k.应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。 l.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置 　放室，将是一理想之规划。 无尘室使用与管理 生产设备之防尘措施 无尘室使用与管理 无尘室之维护管理方面，可分三部分加以说明 无尘室使用与管理 无尘室之维护管理 无尘室使用与管理 无尘室之维护管理 * * 　　无尘室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。无尘室内之微污染来源，作业人员占约80%，作业人员进出无尘室时尘埃有显著增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因人是主要因素。 2 353 50～70 19～25 万级 200 3530 50～70 19～25 十万 1 176 50～70 19～25 五千级 0 35 50～70 19～25 千级 0 3 50～70 19～25 百级 粒径5μm 粒子数≤ 粒径0.5μm 粒子数≤ 湿度%RH 温度℃ 备注 洁净度合格标准（1升气体中 合格的温湿度范围 洁净等级 无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体、给水、溶剂等；而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等。 无尘室适当之正压保持（0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。 室内发尘之防止 隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。 墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间 换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当 ，再加上日常是清洁维护 　无尘室运转管理，可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨，并依计划（planning）、实施（Doing）、追踪（Checking）、动作(Action)之PDCA循环步骤执行。 作业人员之管理 前以提及在无尘室内污染来源80%来自作业人员,因此若能使作业人员依无尘室管理，而所有人员也均能配合实施，则污染源的产生可说已减大半。现就进入无尘室的作业人员之管理和注意事项说明如下： （1）进入无尘室之人员，必须要具备有达成高洁净度标准，　 　　　并要维持最好状态之观念。 （2）作业人员进入无尘室数目以维持最小限度原则（愈少愈 　　　好），并须依无尘室进出标准流程进出无尘室，如图3 　　　所示。出则相反方向进行，唯不须经空气洗尘室之脱 　　　尘处理。 （3）对作业人员必须经常讲解无尘室管理之数据，并加以教 　　　育与训练，内容如无尘室管理之一般常识、无尘室之 　　　构造与功能、维护和清洁、安全对策、搬运器材之洁 　　　净管理与检查、洁净衣之穿脱、无尘室内之步行方式 　　　等，并经考试合格者方能进入无尘室工作。 （4）在无尘室作业人员须经常保持自己各方面的干净与 　　　清洁。　 作业人员之管理 （5）在无尘室内之作业人员或其它人员之移动或动作均为 　　发尘源，其直接影响制程，同时亦会影响气流之扰动， 　　为防止与控制上述情形，基本上须注下列事项： 　　a.不可在作业区域气流之上方放置物品或做其它作。 　　b.不必要之动作尽量避免以防止乱流发尘。 　　c.与作业无关的私心谈话尽量避免。 　　d.为控制发尘量，人员步行及作业要静静地进行。表2 　　　所示为人体在不同动作时之发尘量。 　　e.作业要在洁净之工作柜