硅片产品知识与生产工艺分析.pptVIP

8、分检工序 分检区主要工作是对清洗好的硅片，按照分选标准对硅片进行分级并进行包装入库。通过分检将硅片分为A1、A2、B级和报废四个等级。 硅片产品的技术要求 硅片产品知识与生产工艺 硅片生产流程 硅片厂主要生产流程：硅料—多晶铸锭、拉制单晶—切片——分选包装 第一部分：多晶铸锭工段 第二部分：单晶工段 第三部分：切片工段 第四部分：硅片产品的技术要求及分类 1、多晶铸锭工序 1.1、多晶工序介绍 多晶工序的作用是将原生硅料和循环硅料在铸锭炉内生产成为多晶硅锭。 多晶车间整体工序 硅料分选 硅料打磨 硅料清洗 硅料包装 多晶铸锭 晶锭脱模 晶锭入库 多晶装料 坩埚烧结 坩埚喷涂 1.2多晶铸锭的生产流程 1.3、DSS炉定向凝固工作原理 DSS（定向固化系统）能生产较大尺寸的，优质的多晶硅锭（用于光伏工业领域）。DSS的生产量很大，能在不到54个小时的时间内生产出430kg的硅锭。在长晶期间，通过隔热层的提升，在热场内产生温度梯度，从而从下往上定向长晶，在整个长晶过程中只有隔热层一个部件在运动，大大减少了故障的发生，从而提高了炉子的稳定性能。 内涂氮化硅的坩埚装入多晶硅料后放在导热性很强的石墨块上（即所谓的定向固化块或者DS-BLOCK)。关闭炉子后排气，接通加热器电源融化硅料数小时以上。坩埚的四周有石墨加热器和隔热