能量色散X射线荧光光谱仪校准的方法.docVIP

能量色散X射线荧光光谱仪校准方法 1 范围??本规范适用于新生产、使用中和修理后的能量色散X射线荧光光谱仪的校准。2 引用文献??JJG 810-93 波长色散X射线荧光光谱仪检定规程3 术语和计量单位3.1 分辨力 检测器的分辨力以脉冲高度分布的半峰宽（eV）来表示，简写为R。3.2信噪比信噪比以镉元素Kα线脉冲高度与噪声的比值（S/N）来表示。其中，S是镉元素的X射线荧光强度，N是背景值。4 概述? ?能量色散X射线荧光光谱仪用于固体、粉末或液体物质的元素分析。工作的基本原理是X射线管发出的初级X射线激发试样中的原子，测定由此产生的X射线的荧光的能量强度，根据各种元素特征X荧光光谱线的能量强度进行元素的定性和定量分析。5 计量性能要求5.1外观5.1.1仪器应有仪器名称、制造厂、出厂日期和编号的标志。5.1.2所有部件连接良好、动作正常。5.1.3面板上的仪表、指示灯和安全保护装置工作正常。5.2 技术性能技术性能包括仪器分辨力、信噪比、仪器的计数线性、重复性、稳定性。5.2.1分辨力：镉元素Kα线脉冲高度的半峰宽应优于260eV。5.2.2信噪比：S/N应大于2。5.2.3仪器计数线性：90%仪器规定最大线性计数率时的计数率偏差优于2.0％。5.2.4重复性：优于3.0％5.2.5稳定性：优于4.0％6 校准条件6.1校准的环境