测控传感器第5章压力侧量(免费阅读).pptVIP

在大气压和外部未知压强共同作用下，膜片产生的形变(位移)量取决于它的形状、结构、尺寸、厚度和材料等因素，因此它是一种压差式传感器。 这种传感器压强和位移之间的精确关系随每一种设计的不同而不同。它用来检测很小的位移量，通常为1mm以内。 这种仪器通常需要单个地进行标定。 用膜片作为电容器的一个极板是一种非接触侧量位移的方法，输出的电信号具有非常高的分辨力，尤其适合于各种小位移的测量。 图示为一个膜片与电容器的结合，电容器的一个极板被固定，另一个极板就是膜片。电介质通常是空气。 当压强变化时，膜片会产生与它成比例的形变，电容器的电容C与两极板间的距离成反比，即： C∝1/d 在电容器的两极接入调理电路，电容值的变化会引起愉出电压的变化，该电信号经过调制并标定为压强的形式显示出来。 5.2.4 压电式压力传感器 图所示为压电式压力传感器的原理图。这种传感器类似于利用薄金属或半导体膜片检侧压强变化的电容式压力传感器。 当其所受压强变化时膜片会挠曲变形，从而会在压电晶体上产生一种应变，在晶体表面会出现与其应变量成正比的极性相反的电荷量。 这种压力传感器的压电晶体通常是石英，且被放置在密封装置中，并引入了由集成电路技术制成的信号调制电路。 压电式压力传感器可以工作在高温下，其温度特性非常好，而且其体积能做得非常精小。 主要优点是动态响应迅速、且工作范围宽。 它还具有很