光电探测与信号处理 CMOS图像传感器 一、 CMOS图像传感器的发展历史 二、 CMOS图像传感器的原理 三、 典型CMOS图像传感器 四、CMOS图像传感器的性能参数 五、CMOS与CCD图像传感器性能比较 一、 CMOS图像传感器的发展历史 上世纪60年代末期,美国贝尔实验室提出固态成像器件概念: 互补金属氧化物半导体图像传感器 CMOS —Complementary Metal Oxide Semiconductor CIS—— CMOS Image Sensor 电荷耦合器件图像传感器 (CCD) CMOS与CCD图像传感器的研究几乎是同时起步,固体图像传感器得到了迅速发展。 CMOS图像传感 器: 由于受当时工艺水平的限制, 图像质量差、分辨率低、噪声降不下来,因而没有得到重视和发展。 CCD图像传感 器: 光照灵敏度高、噪音低、像素少等优点 一直主宰着图像传感器市场。 由于集成电路设计技术和工艺水平的提高,CMOS图像传感器过去存在的缺点,现在都可以找到办法克服,而且它固有的优点更是CCD器件所无法比拟的,因而它再次成为研究的热点。 1970年,CMOS图像传感器在NASA的喷气推进实验室JPL制造成功, 80年代末,英国爱丁堡大学成功试制出了世界第一块单片CMOS型 图像传感器件, 1995年像元数为(128×128)的高性能CMOS有源像素图像传感器由喷气推进实验室首先研制成功, 1997年英国爱丁堡VLSI Version公司首次实现了CMOS图像传感器的商品化, 2000年日本东芝公司和美国斯坦福大学采用0.35mm技术开发的CMOS-APS,成为开发超微型CMOS摄像机的主流产品。 2000年9月美国Foveon和国家半导体公司采 用0.18mm CMOS工艺开发出1600万像素(4096×4096)CMOS图像传感器 到目前为止, 在开发CMOS图象传感器中所采用的先进的关键技术可归纳如下: (1) 相关双取样 (CD ) 电路技术; (2) 微透镜阵列制备技术; (3) 彩色滤波器阵列技术; (4) 数字信号处理 (DSP) 技术; (5) 抑制噪声电路技术; (6) 模拟数字转换 (A/D ) 技术; (7) 亚微米和深亚微米光刻技术。 二、 CMOS图像传感器的结构 2. CMOS图像传感器的像敏单元结构 四、CMOS图像传感器的性能参数 4、噪声 (1)光敏元噪声: 热噪声、散粒噪声、g-r噪声、电流噪声 (2)MOS噪声 (3)工作噪声:复位噪声、空间噪声 5、空间传递函数 五、CMOS与CCD图像传感器性能比较 CCD图像传感器工作原理框图 CCD与 CMOS图象传感器出货量预估(单位:百万颗) 六、CMOS图像传感器的应用领域 CMOS 图象传感器的应用领域十分广泛, 国外芯片厂商: 生产CMOS图像传感器,比较著名的有: Micron(美光) Omni Vision(豪威) Mitsubishi(三菱) Kodak( 柯达)等。 国内的CIS企业 上海派视尔、上海格科微电子、北京思比科 1.3MegaPixel与2MegaPixel产品。 格科微电子采用的仍然是传统的图形架构,每个像素前面采用单色滤色片,但采用了该公司专利的架构技术,传统Bayer图形架构会造成的色彩干扰问题得以解决;并且这种架构还使图像的层次感较强、显示较为真实;另外在图像处理方面还进行了颜色纠正,保证色彩的充分还原。 派视尔则在集成化方面大做文章。已经推出集成有自动调整聚焦控制器(AF)的200万像素级单芯片CIS。能够充分满足手机市场对图像质量、性能及易用性的要求,同时还能简化模块制造的组装过程。 请看下一节 * * CMOS图像传感器 1. CMOS图像传感器的组成 主要组成部分:像敏单元阵列和MOS场效应管集成电路 像敏单元阵列:光电二极管阵列。两部分是集成在同一硅片上。 有两种类型:被动像敏单元结构和主动像敏单元结构。 被动像敏单元结构: 只包含光电二极管和地址选通开关两部分, 公共的放大器 主动式像敏单元结构: 复位脉冲消失后,V1截止,光电二极管开始积分光信号。 场效应管V2:源极跟随放大器,进行电流放大, 场效应管V3构成模拟开关,积分结束后,V3管导通,信号输出。 场效应管V1构成光电二极管的负载,它的栅极接在复位信号线上,当复位脉冲出现时,V1导通,光电二极管被瞬时复位; 图像信号的输出过程: 1、光谱响应特性、量子效率 2、填充因子 填充因子= 3、输出特性和动态范围 随着输出模式不同,有四种
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