激光测量技术-第二章激光干涉测量技术.ppt

第二章 激光干涉测量技术 本章主要内容: 背景知识概述（重点） 第一节 干涉测量长度和位移（重点） 第二节 小角度测量仪(合并第一节) 第三节 外差干涉测量技术（重点） 第四节 激光全息干涉测量技术 第五节 激光散斑干涉测量技术 第六节 激光光纤干涉测量技术 第七节 激光多波长干涉测长技木 一、背景知识概述 1、 激光干涉的条件 频率相同 相位差初始恒定 振动方向相同（非正交） 小于波列长度（Δτ≤1/Δυ） 2、干涉数学表达式： 三角表示法 设： 两路激光分别为 一、背景知识概述 则合成有： 一、背景知识概述 光的相位与走过的光程nl有关： 一、背景知识概述 上两种推导过程的结论： 合成干涉光的光程是两路光的光程差的余弦函数 当 合成干涉光光强最大, 光越亮 当 合成干涉光光强最小, 光越暗 一、背景知识概述 应用 光强调制 I∝cosΔ 测量臂差 测量明暗变化次数,可测量臂差 测量折射率 L均固定, 只有一处折射率变化 传感器 通过物理量引起n或者L的变化,测出其变化,再经过处理,反演出物理量的变化 第一节 干涉测量长度和位移 一、基本原理 n均固定/已知, 一路光的光程固定, 由下公式可知,即