电子显微部分思考题及答案.docVIP

电子显微部分思考题-2011 *1. 什么是分辨率？提高显微镜分辨的途径有哪些？ 分辨本领又称分辨率，是指显微镜能分辨的样品上两点间的最小距离。 根据瑞利公式：Δr=(0.61λ)/(N·sinα) 其中：Δr：最小可分辨距离； λ：光源的波长； N：介质的折射率； α：孔径半角，即透镜对物点的张角的一半； Nsinα：称为数值孔径，常用N.A表示。 提高分辩率，即减小Δr值的途径有： (1)增大N.A(物镜的数值孔径) ，即增大N和α； (2)减小λ。 *2. 什么是像差？解释其成因。 像差有分为几何像差和色差，几何像差又包括球差和像散。 球差是由于电子波经过透镜成像时，离开透镜主轴较远的电子(远轴电子)比主轴附近的电子(近轴电子)被折射程度要大。当物点P通过透镜成像时，电子就不会会聚到同一焦点上，从而形成了一个散焦斑。 像散是由于透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的。像散是由透镜磁场的旋转对称性被破坏而引起的。透镜磁场不对称，可能是由于磁透镜极靴被污染、光镧被污染，或极靴加工的机械不对称性，或极靴材料各向磁导率差异引起（由制造精度引起）。 色差是由于电子波的波长（或能量）发生一定幅度的波动而造成的。引起电子束能量变化的主要有两个原因：一是电子的加速电压不稳定；二是电子束照射到试样时，和试样相互作用，一部分电子发生非弹性散射，致使电子的能量发生变化。 *3. 电磁透镜与光学透镜有何显著不同？解释电磁透镜的聚焦原理。 运动的电子在磁场中会受磁场力的作用产生偏折，从而达到会聚和发散。通电短线圈产生对称不均匀磁场，可以使电子束聚焦，因此通电短线圈制成的可使电子束聚焦成像的装置叫电磁透镜。改变激磁电流，电磁透镜的焦距将发生相应变化。因此，电磁透镜是一种变焦距或变倍率的会聚透镜，这正是它有别于光学透镜的一大特点。 沿电磁透镜轴线方向的电子通过电磁透镜时运动状态不发生改变；与轴线平行但不在轴线上的的电子通过电磁透镜时，将受到与初始运动方向垂直的切向力和指向轴向的向轴力作用，绕轴作螺旋运动并将最终聚焦于一点。 *4. 光镜、透射电镜和扫描电镜各有什么优缺点？ 项目 光学显微镜 电子显微镜 光源 可见光 电子束 透镜 玻璃透镜 电磁透镜 分辨率 200nm 0.2nm 放大倍数 1000倍 100万倍 图象颜色 彩色 黑白 观察介质 空气 真空 样品制作 简便 复杂 Characteristic ?OM ?TEM ?SEM 1 ?Voltage ?no High Voltage 25~300KV High Voltage 0.5~30KV 2 Illumination Source ?light ?electron ?electron 3 Observation In Air In Vacuum In Vacuum 4 Lens Glass Pole Piece Pole Piece 5 Resolution 0.2 (m 1.0 nm 0.1 nm 6 Focus Depth Shallow〈2~3(m〉 Deep〈500(m〉 Deep〈0.1~1mm〉 7 X-rays-Analysis Not possible Possible Possible 8 Image Color Color Black and White Black and White 9 Magnification ~ 1K ~ 1000K ~ 800K 10 Field of View Large Small Large 11 Specimen Preparation ?Easy complicated ?Easy 12 Specimen Size Large Small Large 13 Metal coating Not necessary Not necessary necessary 14 ?Type of Image Transmitted Image or Surface Image ?Transmitted Image ?Surface Image *5． 扫描电镜样品的物理信号主要有哪些？二次电子、背散射电子和特征X射线各有什么特点及主要用途？ 二次电子、背散射电子、特征X射线、俄歇电子、透射电子、吸收电子。 （1）二次电子：是被入射电子轰击出来的离开样品表面的样品的核外电子，有如下特点： ①能量比较低，一般小于50eV； ②来自表层5~10nm深度； ③它对样品的表面形貌十分敏感，因此能非常有效地显示样品的表面形貌。 ④二次电子的产生额与样品的原子序数之间没有明显的依赖关系，因此不能用