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? 水 质 全 析 报 告? 配管标准程序centrotherm 管式PECVD镀膜机的维修保养工作?2011-05-17 13:13:11|??分类： 默认分类 |??标签： |字号大中小?订阅 文 件 修 订 记 录文件版本日 期修订页次描 述1.02009-12-14全部新制定??????????????????????????????????????????????????????????????????目?录1.目的：... 32.范围：... 33.职责：... 34.设备概况：... 35.部分故障参考：... 46.相关操作... 87.维修保养... 128.设备完好标准... 149.安全注意：... 151.目的：指导centrotherm 管式PECVD镀膜机的维修保养工作，使设备长期处于良好状态，保障设备正常运行2.范围：适用于二部centrotherm 管式PECVD镀膜机3.职责：1）负责管式PECVD所有生产性设备资产的完好性，负责制定日常运行维护、维修及检修计划，并按计划落实，确保生产的安全、正常运行； 2）负责检查设备运行状态，并记录异常，积极跟踪异常情况，处理设备故障；3）负责应对管式PECVD常见、突出、重大的设备异常、故障；制定落实整改措施、预防措施、应急方案。4.设备概况：本设备主要功能是对硅片进行表面镀膜处理。主要由上料部分（LOADING）、炉管（furnace）部分、气源(gas cabinet)部分、CMS部分、高频电源、真空部分、人机交换与控制界面组成。设备为全自动处理。?上料部分: 由小车（trolly），机械手（lift axle，grip），进给桨（SLS,EFM）,小车有新旧两种，依靠液压缓冲器和调节螺杆调整小车的平稳、水平、平行。推进时气缸锁死。机械手分为LIFT axle提升机械手（AC380V伺服电机+欧姆龙驱动器+制动+编码器构成提升组成）和水平进给的两套机械手（DC24V伺服电机+增量式编码器+RDC2控制器+制动器）。进给桨分为SLS软着陆垂直动作部分（RDC2控制器+DC24V马达+限位开关））和EFM水平进给部分(RDC2控制器+DC24V马达+编码器+电位计)。?炉管部分由炉门、炉身、炉尾构成。炉门由通过Bakeoff PLC控制气动组成单元执行，炉门也为特气的进口，此处的三通很重要，起到气流导向作用，也防止气路堵塞。气动单元要时常检查有无行程和限位开关移动位。炉门口要时常清洁，保障真空顺利抽下。前端的冷却水压力开关要保障正常。炉身内部有T-PADDLE热电偶，测温点分为5个区。热电偶带有石英保护套管，此套管为易损件。此套管作用为保证真空，也是保护五个点的温度稳定必要的。炉管外围也配有5个T-SPIKE测温点，加热器也在炉管周身。管与管之间有水冷却板保证设备的整体外围温度安全。此处的加热测温区控制由PWM模块（A/D模块）、TMM5、CMS和REG97控制器构成闭环控制。炉尾安装有电极、热电偶的进口、尾气排放口、观察窗。电极是高频电源输出放电终端。尾气排放口联接蝶阀至真空泵。观察窗可以观察电极和桨的配合情况以及内部工艺情况。气源(gas cabinet)部分：气源NH3、SIH4、N2、CDA.构成。设备的尾部顶端配有主气源气体调节压力的面板单元，通过截止阀、调节阀、旁通阀、指针压力计可以调节工作压力。每种气体每个炉管均有单独的控制单元。CMS部分：提供集中报警管理及监控，设备安全监测系统。以下为监测部分— 水— 冷却泄露—加热系统保险丝—加热区温度—加热体温度— 电源温度— 加热变压器的温度高频电源：为国产电源提供。其进电源经变压器供给。真空部分：为阿尔卡特ADS602H真空泵、蝶阀单元、尾气排放检测单元。每个炉管均有压力和真空检测单元，包括自动切断阀、相对压力传感器、绝对压力传感器。通过两种传感器的信号提供来控制MFC和蝶阀的开度来控制达到生产要求。人机交换与控制界面组成。由CCC服务器和CMI、 CESAR、REG97、PLC等工作站构成通讯网络。每个部分可单独工作。5.部分故障参考：序号故障现象原因分析解决方法情况说明1真空抽不下来①T-paddle热电偶保护套管损坏。②电极保护套管损坏。③炉管后面的观察窗破裂。④前炉门口端盖处不洁净。⑤蝶阀后到泵体的软连接处松动。⑥真空泵问题更换保护套管?更换保护套管?更换观察窗?开门进行清洁?检漏查找，紧固?检查泵体，维修?2SLS没有反应， 行程开关未动作或者损坏，需要调整。②炉管状态错误导致检修需要程序初始化。重新启动程序?3炉门未打开或者没有到位 ①行程开关未到位or限位开关松动②继电器 or 相对压力传感器问题进行调整。?继电器需要进行更换和压力传感器进行校正零点。?4蝶阀故障VAT显示为C*