光电测试技术-第5章激光干涉测试技术5／6.pptVIP

第5章 激光干涉测试技术 光电测试技术  哈尔滨工业大学 第5章 激光干涉测试技术 §5-5 激光外差干涉测试技术 * * §5-5 激光外差干涉测试技术 引言：单频激光干涉仪的光强信号及光电转换器件输出的电信号都是直流量，直流漂移是影响测量准确度的重要原因，信号处理及细分都比较困难。 为了提高光学干涉测量的准确度，七十年代起有人将电通讯的外差技术移植到光干涉测量领域，发展了一种新型的光外差干涉技术。 概念：光外差干涉是指两只相干光束的光波频率产生一个小的频率差，引起干涉场中干涉条纹的不断扫描，经光电探测器将干涉场中的光信号转换为电信号，由电路和计算机检出干涉场的相位差。 特点：克服单频干涉仪的漂移问题； 细分变得容易； 提高了抗干扰性能。 * * §5-5 激光外差干涉测试技术 5.1 激光外差干涉测试技术原理 ①外差干涉技术原理 设测试光路和参考光路的光波频率分别为ω和ω+Δω，则干涉场的瞬时光强为 由于光电探测器的频率响应范围远远低于光频ω，它不能跟随光频变化，所以式中含有2ω的交变项对探测器的输出响应无贡献。 干涉场中某点（x，y）处光强以低频Δω随时间呈余弦变化 * * §5-5 激光外差干涉测试技术 5.1 激光外差干涉测试技术原理 ①外差干涉技术原理 在干涉场中，放入两个探测器，一个放在基准点(x0