EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用.docVIP

EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用 EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用摘要：EL6249C是美国Elantec半导体公司推出的四通道激光二极管电流放大器。文中根据频闪成像原理，利用EL6249C设计了一套频闪驱动电路，该驱动电路可驱动高亮LEC，以产生MEMS动态测试中所需的频闪光，为后续MEMS器件的动态特性提取和分析做准备。 关键词：MEMS EL6249C 动态测试 频闪 1　引言 微电子机械系统是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的新兴学科。由于它与传统机械系统相比，具有可大批量生产、成本低、功耗小、集成化等一系列显著的优点，近十年来得到了迅速的发展。随着ＭＥＭＳ从研究阶段逐渐步入产业化阶段，其对测试系统的需求也越来越迫切。特别是对动态特性的测试技术，这是因为ＭＥＭＳ的动态特性决定了ＭＥＭＳ器件的基本性能；而且ＭＥＭＳ微结构三维微运动情况、材料属性及机械力学参数、ＭＥＭＳ可靠性与器件失效模式、失效机理等关键问题均可通过ＭＥＭＳ动态测试技术加以解决；同时，通过动态测试技术，还可以研究一系列相关的基础理论问题。因此，ＭＥＭＳ动态测试技术近年来得到了国内外许多ＭＥＭＳ研究机构的高度重视。 由于许多ＭＥＭＳ器件的运动频率都比较高，一般在5０～5００ｋＨ