光伏电池制备工艺-项目三-扩散.ppt

太阳电池磷扩散方法 １．三氯氧磷（POCl3）液态源扩散 ２．喷涂磷酸水溶液后链式扩散 ３．丝网印刷磷浆料后链式扩散 目前多采用的是第一种方法。 二、扩散 扩散的目的：1、在p型晶体硅上进行n型扩散，形成p-n结，它是半导体器件工作的“心脏” 。 扩散气氛场结构示意图 常用扩散的液态源——三氯氧磷（POCl3） POCl3磷扩散原理 POCl3在高温下（600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应式如下： 但在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气（Cl2）其反应式如下： 在有氧气的存在时，POCl3热分解的反应式为： 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下： 由此可见，在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气 。 一、工艺、质量要求 1 扩散后硅片表面呈咖啡色，颜色均匀； 2 表面清洁，无染色，无明显斑迹； 3 单晶薄层电阻在50～60Ω/□之间； 多晶薄层电阻在55～65Ω/□之间，单片方块电阻控制在正负5Ω/□以内； 4 P-N结深为0.2～0.4μm 二、原材料和器件 1、主要原材料 三、扩散工艺 1、准备工作 ① 戴上橡胶手套和口罩。 ② 对未使用过的石英器件，首先要用丙酮棉球把石英器件擦拭一遍，再用酒精棉球把石英器件擦拭一遍。 ③ 把石英器件放入配有氢氟酸溶液（1：25的氢氟酸和纯水）的清洗槽中（二次清洗工序），打开进气阀，让溶液轻度鼓泡，持续10分钟。 ④ 关闭进气阀，把槽中的溶液抽到另一个槽中。 ⑤ 打开纯水阀，让纯水完全淹没石英器件，再关闭纯水阀，打开进气阀，让它轻度的鼓泡；持续5分钟。 ⑥ 关闭进气阀，排水，放水，充气，多次循环清洗后，用电阻率仪测量清洗后水的电阻率，直到清洗后水的电阻率大于2MΩ.CM。 ⑦ 打开排液阀门，把水排掉，氮气吹干，戴上橡胶手套，取出石英器件，然后将石英器件拿到扩散间。 （2）更换源瓶（一般60-70批次换源） 1）换源前，作业员将工控机里是工艺次数记入《换源记录表》，并清零 2）操作员带上橡胶手套和口罩、头罩（安全眼镜），另有一人监督。 3）在扩散间内，打开源瓶的包装箱，小心的取出源瓶。注意源瓶内部两根管子的长度（玻璃长管子为进气口如下图1，接口处粗管为出气管，细管为进气管如图2，确定进气口和出气口然后将源瓶接好（注意：搬运源瓶时，要非常小心，以防打碎源瓶，如有源从源瓶中流出，将非常危险，在这种情况下马上要求所有车间人员紧急撤离到室外，待室外制定通风排毒计划后可以带防毒面具实施计划）。 3）把进气、出气阀拧紧，源瓶小心放回包装箱，搬到扩散间准备装源。 4）把源瓶放入恒温槽（一般20℃左右），水位离源瓶顶部1CM左右水位，确定装源瓶时不能带入纸屑等杂物（包括贴在源瓶上的标签），以防把恒温槽循环泵的进出水口堵塞，把进气管和出气管接好。 5）先在PLC控制面板上把小氮出气的电磁阀打开，把源瓶出气阀慢慢的拧开，目的释放瓶内压力。 6）然后在PLC控制面板上把小氮进气的电磁阀打开，设定小氮流量（500）。 7）把源瓶进气阀慢慢的拧开，不用眼睛看，手可以感觉到冒泡引起的震动（注意换源时重点保护的是眼睛），慢慢拧到全开。 8）把电源柜门关上。 9）看PLC上实际流量是否达到设定值，如果一致，再设定小氮流量，增大到扩散时小氮流量值的一半，流量稳定且达到设定值后，再隔着玻璃看源瓶是否漏源（注意未稳定前不能直接看源瓶是否漏源，以免流量增大时可能导致的喷源，造成人员伤害）。 10）实际流量和设定值一致后，把流量设定为扩散时的流量，再隔着玻璃看源瓶是否漏源。 11）如果实际流量和设定值一致，把小氮设为零，在PLC控制面板上关小氮进气电磁阀，关小氮出气电磁阀。 12）把大氮电磁阀打开，大氮设为25000。 13）检查恒温槽中纯水量是否达到恒温槽容积的2/3。 5、装片 1）操作员坐在凳子上，用吸笔将硅片从花篮里面取片并插入石英舟里（一槽插一片或两片）； 2）将多晶硅片的发亮面朝向炉门（右边）。装片过程中如发现来片有破损时应及时做好记录，同时将碎片分类放入指定的盒子内，统一处理。如有绒面不良的硅片需及时将情况反应给清洗组长，并将硅片隔离。 3）把一个批次硅片装入石英舟内，并排放整齐，等待装舟。 3）把一个批次硅