光波干涉.docVIP

用光波干渉法测量刀口型直尺直线度 唐长奇 关键词：利用光波干涉原理检测刀口尺的直线度。其方法的精度优于现行的标准光隙法。 刀口直尺的直线度. 说是简单, 但计量人员实施起来却很“烦心”，实施中存在一些疑难。 首先, 标准光隙精确吗？ 1）, 现在虽然有了尾数带0.5μm的专用量块, 按三等要求, 其中心长度的测量不确定度为0.1um, 它相当于标准光隙准确度0.15μm的2/3. 2），此外, 对2.5mm以下的薄量块还存在平面度4μm的弯曲, 研合在平晶上做到完全贴合，每块都贴合,确非易亊。笔者在过去的工作中, 研合初期未见光斑, 但1～2小时结束后, 准备从平晶上拆下量块时, 发现有几块量块的研合面上出现黄色或紫色光斑, 约0.3μm。并且无法知晓是何时出现。这就使得捡定结论疑惑了。 3），多年使用下来的标准器组，如量块和平晶，反复多次的研合和剥离，“伤痕累累”将是不可避免。因为计量行业中的新手较多，即使工作多年的检定员，因为多数企业生产中不常使用刀口尺，捡定人员难以积累经验，何况，光源的远近高低，覌测者的视线角度，手持平晶和刀口尺的相对位置等因素的影响。都会造成光隙颜色的不确定性，“似黄似橙” 、“似兰还紫” 。 4），值得一提的是形成标准光隙时必须使用刀口尺，珼在使用的只有精度最高的0级刀口 尺，其直线度公差为0.5um，显然它超过了标准光隙的准确度。当然，在有条件的情况下，一些细致计量人员会从数件新购刀口尺中挑选一件直线度好（在研磨平尺上无光隙）的用于标准光隙组合。 为此，九十年代初，摸索试用光波干涉法。 如图一（a）所示，在1级平晶上分别研了1.01和1.005量块，然后对着8W萤光灯，竟然在刀口尺与1.005量块间的光缝内出现红、橙、黄、录、青、兰、紫等色彩的周期性竖向条纹。这不是干涉带吗？不过，1.005量块的左半边未出现干涉带。但是根据干涉带分布的间距，估祘在1.005量块上应有7.5条干涉带，因此，这两量块的厚度差按常規計祘，约为： 0.3×7.5=2.25μm。 它与量块的实际差值竞达一倍以上，原因何在呢？ （b） 图 一 图 二 如何解释这种干涉现象呢？ 图二为检测状态示意图，左侧为萤光灯，右侧为覌测者。 在无数条入射光线中总有两条能产生干涉的光线，如图中的M和N，它们的光程差△为： △=（AB＋BC）－（ED＋DF） =2（AB－ED） ∵ AB=BD/Sinα ED=AD×Cosα =BD×Ctgα/tgα ∴ △=2（BD/sinα－BDcosα/tgα） =2BDsinα （1） 我们知道，光波干涉现象的物理解释是两列