光电检测技术及应用作者徐熙平第9章位移量检测课件.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 4、读数和细分 对径读数 偏心误差 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 细分码道 在高位数码盘中，外圈码道（精码）的线条很细，光通过细线条时由于衍射等现象大大降低信号的对比度。为加宽线条宽度，一是加大码盘的直径，但码盘过大将引起一系列问题；二是用两个相同线宽的码道来代替一个细码道，这两个码道就是细分码道。 细分码道 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 5、狭缝及光电信号 编码器中取信号的方法有两种：一是用狭缝；二是用光学成像。 码盘、狭缝和光电器件的对应关系 从光源发出的光束经过光学系统投射到码盘上，被对准狭缝的码盘图案调制随角度变化的光通量，光电接收器件又使这个变化的光通量转变成交变的电信号。 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 光电信号转换曲线 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 光电转换误差 实际曲线 曲线1：在理想状态下的光电转换曲线 曲线2和3：由于某种原因使光电信号幅度发生变化（增大或减少），光电转换曲线也相应变化。 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 6、编码器误差 量化误差 光学轴角编码器的原理是把一个连续的圆周角度量， 在 这一分辨率区间内的任何点均读取同一角度值， 这就和没一点的实际值产生了误差，即为量化误差。最大值为 ，中误差为 转换点位置误差 模拟信号量转换为数字信号量时，由于各方面影响，转换点变为一个转换区间。于是实际的转换点位置与理论转换点位置产生偏差，即为转换点位置误差。 第9章 位移量检测 三、光栅角位移检测 （1）码盘和狭缝刻划误差 对径误差、不封闭误差和不均匀性误差，前两个影响信号相位，后一个影响幅度、相位、波形。 （2）零件加工及装配误差 会对幅度和相位等产生影响。 （3）光电器件的暗流和灵敏度 影响信号的幅度和直流电平。 （4）光源和光学系统误差 光源强度的变化直接影响信号的幅度变化。 （5）电子电路误差 直接影响转换点误差，信号幅度和相位的变化，也会产生读数误差。 对一个实际编码器很难用定量的方法来分析上述因素所带来的误差大小。实际上是用标准仪器对编码器进行检验，确定其测角误差的大小范围，即不确定度误差。 第9章 位移量检测 四、轴向位移测量 光三角位移测量系统的工作原理图 第9章 位移量检测 四、轴向位移测量 光三角成像光学系统成像原理图 第9章 位移量检测 四、轴向位移测量 PSD的等效电路模型 S 的探测原理是利用PSD器件的横向光电效应来实现的。 若取 ，则 第9章 位移量检测 四、轴向位移测量 光三角原理三种特殊测量情况 若光学系统的角放大率为 ，则由下图和角放大率公式 可知 ，即 第9章 位移量检测 四、轴向位移测量 第9章 位移量检测 五、激光测距 激光测距广泛应用于大地测量、地震、制导、跟踪、火炮控制等。激光测距有脉冲法、相位法和脉冲—相位法。脉冲法精确度低，而相位法精确度高。除激光测距外，还有微波测距，它可以全天候测距，但精确度低。 1、脉冲法测距 工作原理 脉冲法测距的原理示意图 c 光速； t 激光脉冲往返时间 （主波与回波的时间间隔） 第9章 位移量检测 五、激光测距 测距机的组成框图及波形 第9章 位移量检测 五、激光测距 脉冲前沿的变化产生的误差 大气折射率变化引起的光速的偏差 （可以忽略不计） 测量时间的误差而引起的测距误差： 时标脉冲的周期引起的误差 脉冲前沿变化引起的误差 放大器和整形电路的时间响应不够使脉冲前沿变斜 第9章 位移量检测 五、激光测距 前置放大器 前置放大器设计的好坏直接影响测距的精确度和测距的量程测距误差。由于前置放大器的上限频率不高引起信号脉冲前沿变斜，产生测距误差。由于前置放大器的固有噪声直接影响探测最小信号脉冲幅值，使测量距离受到限制。 典型的前置放大器原理电路图 第9章 位移量检测 五、激光测距 2、相位法测距 相位法测距的基本原理 距离与相位移关系 当测相周期为 时： 当测相周期为 时： 第9章 位移量检测 五、激光测距 测尺频率的选择 （1）分散的直接测尺频率