光纤式表面粗糙度测量科研训练文献综述..docxVIP

（2015年7月7日光纤式传感器及其在表面粗糙度中的应用摘要：本文主要介绍了光纤式传感器结构、组成，用于传感器领域的优势。还介绍了光纤式传感器的历史，发展，国内外的现状，以及未来的发展趋势。重点叙述了光纤传感器在表面粗糙度测量中的应用，以及光纤式表面粗糙度测量的原理和具体方案。关键词：光纤传感器；表面粗糙度；光反射；光检测；调制解调1、引言随着工件表面质量的不断提高，表面粗糙度测量已成为控制和改进工件表面质量的必要条件。非接触测量、低环境要求以及实现实时在线检测的技术已是表面粗糙度测量技术的发展趋势。在各种表面粗糙度测量方法中利用光学原理测量表面粗糙度的方法由于其能够实现上述对表面粗糙度测量的要求而应用日益广泛。其测量效率极高, 体积小, 结构合理, 适合恶劣环境(生产车间和现场)使用。光纤粗糙度传感器主要是通过测量反射光的强度来评价粗糙度的，与传统式测量仪相比，原理直观，结构简单，数据处理方便；而且不存在测量力大小，触针损伤等引入的测量误差；再者，光纤传感探头细小，可扭曲到设备内部测量，以及快速和非接触，能实现生产过程中在线检测等。2、光纤式传感器概述光纤（optical fiber）是一种工作在光频波段（100THZ左右）的电介质波导。其最早应用在光通讯领域内。在该过程中，人们逐渐意识到光纤在通讯过程中通信质量易受干扰的一个重要原因是光纤对外界环境十分敏感，如温度、压力等外界物理量的变化，将会引起光波参数，如强度、相位、频率、偏振态等的变化，即光纤本身在具有传输功能的同时，一定程度上还具有传感的功能，可集传感、传输于一身。 光纤传感器由光源、传输光纤、传感元件或调制区、光检测等部分组成。与传统的传感技术相比，光纤传感技术具有独特的优势：裸光纤质轻柔软、尺寸小，可制成各种形状的传感器，易嵌入各被测物中且对其几乎没有任何影响；由于光纤的主要成分是SIO2，其耐高温、耐强碱腐蚀；于传输、传感媒介是光频信号因而不受外界强电、磁信号的干扰，可靠性强，能在恶劣环境下工作；光纤的传输损耗低，并且传感头可远离信号源；光纤中光信号对外界各物理量敏感性强，解调方法得当的情况下，该传感器灵敏度高，测量范围广泛。3、光纤传感器的发展对于光纤传感器的大量研究是在1989 年才开始的。20世纪90 年代初只有少数光纤传感器在市场上出现，其原因主要是技术不成熟、可靠性不高。现有的光纤传感器如体流量传感器、电流电压传感器、化学传感器、湿度传感器等。1983 年，英国曼彻斯特举行的欧洲传感器展览会上展出了用于压力、温度、速度测量的传感器，全光纤干涉仪以及适用于危险地区、电磁噪声恶劣的环境过程控制用的高分辨率长冲位移传感器。德国的西门子公司早在1980 年便制成了高压光纤电流互感器的实验机样品。日本在20 世纪80 年代便制定了“光应用计划控制系统”的规划，该计划投资70 亿美元旨在将光纤传感器应用于大型工厂，以解决强电磁干扰和易燃、易爆等恶劣环境中信息传输和生产过程的过程控制问题。20 世纪90 年代，由东芝、日本电器等15 家公司和研究机构研究开发出12 种具有一流水平的民用光纤传感器。4、光纤传感器国内外的发展现状及未来发展方向由于光纤传感器应用的广泛性及其广阔的市场, 其研究和开发在世界范围内引起了高度的重视,各国更是竞相研究开发并引起激烈的竞争。目前，光纤传感技术分为传光型光纤传感技术和传感型光纤传感技术,光纤传感技术的核心是光纤传感器,相应的光纤传感器也分为传感型光纤传感器和传光型光纤传感器。其中，传光型光纤传感器主要是强度调制型光纤传感器,其基本原理是待测物理量引起光纤中传输光的光强I 变化, 通过检测光强I 的变化来实现对待测物理量的测量。强度调制的特点是简单、可靠、经济。强度调制方式很多,主要有反射式强度调制和透射式强度调制。在表面粗糙度的测量中，我们主要用到反射式强度调制。目前, 光纤传感器技术发展的主要方向是。（1）多用途。即一种光纤传感器不仅只针对一种物理量,要能够对多种物理量进行同时测量。（2）提高分布式传感器的空间分辨率、灵敏度, 降低其成本, 设计复杂的传感器网络工程。注意分布式传感器的参数, 即压力、温度, 特别是化学参数碳氢化合物、一些污染物、湿度、值等对光纤的影响。（3）新型传感材料、传感技术等的开发。（4）在恶劣条件下高温、高压、化学腐蚀低成本传感器支架、连接、安装的开发和应用。（5）光纤连接器及与其它微技术结合的微光学技术。5、光纤式表面粗糙度测量的原理及具体方案加工件表面粗糙度是指工件表面的加工痕迹的平整和光滑程度，它是加工零件的重要特性指之一。光散射法测量表面粗糙度是利用光在粗糙表面的散射效应进行测量的。当一束光线照射到被测表面时，如果表面是一光学镜面，则光线将按反射定律反射，但是当被测表面是一租糙表面时，粗糙表面