电子束加8工--.docVIP

电子束加工技术 利用高能量密度的电子束对材料进行工艺处理的一切方法统称为电子束加工。包括电子束焊接、打孔、表面处理、熔炼、镀膜、物理气相沉积、雕刻、铣切、切割以及电子束曝光等。其中电子束焊接、打孔、物理气相沉积以及电子束表面处理等在工业上的应用最为广泛，也最具竞争力。电子束加工作为特种加工方法的一种，在工业上的应用已有30多年的历史，现已完全被工业部门所接受。近年来，该技术不断发展，在大批量生产、大型零件制造以及复杂零件的加工方面都显示出其独特的优越性。 电子束加工原理及特点： 电子束加工是利用高速电子的冲击动能来加工工件的。在真空条件下，将具有很高速度和能量的电子束聚焦到被加工材料上，电子的动能绝大部分转变为热能，是材料局部瞬时熔融、汽化蒸发而去除。控制电子束能量密度的大小和能量注入时间，就可以达到不同的加工目的。如只使材料局部加热就可进行电子束热处理；使材料局部熔化就可进行电子束焊接；提高电子束能量密度，是材料熔化和汽化，就可以进行打孔、切割等加工；利用较低能量密度的电子束轰击高分子材料时产生化学变化的原理，即可进行电子束光刻加工。 特点：1）电子束能够极其微细的聚焦（可达1～0.1um），故可进行微细加工。2）加工材料的范围广。由于电子束能量密度高，可使任何材料瞬时熔化、汽化且机械力的作用极小，不易产生变形和应力，故能加工各种力学性