第8章 光电式传感器课件.ppt

8.4 固态图像传感器 固态图像传感器(solid state imaging sensor)是指在同一半导体衬底上生成若干个光敏单元与位移寄存器构成一体的集成光电器件,其功能是把按空间分布的光强信息转换成按时序串行输出的电信号。 CCD —电荷耦合器件(charge coupled device)是其中应用最广泛的一种。 P1 P1 P2 P2 P3 P3 P1 P1 P2 P2 P3 P3 P1 P1 P2 P2 P3 P3 P1 P1 P2 P2 P3 P3 (a) Ф1 Ф2 Ф3 t0 t1 t2 t3 t Ф (b) 电荷转移过程 t=t0 t=t1 t=t2 t=t3 0 3．电荷的输出 如图所示为利用二极管的输出方式。在阵列末端衬底上扩散形成输出二极管，当输出二极管加上反相偏压时，在结区内产生耗尽层。当信号电荷在时钟脉冲作用下移向输出二极管，并通过输出栅极OG转移到输出二极管耗尽区内时，信号电荷将作为二极管的少数载流子而形成反向电流Io。输出电流的大小与信号电荷大小成正比，并通过负载电阻R1变为信号电压Uo输出。 8.4.2 线阵CCD图像传感器 转移栅 光积分单元 不透光的电荷转移结构 光积分区 输出 转移栅