MEMS与IBS联系.docxVIP

1、MEMS器件光学MEMS：反射、光量开关、扫描、微型构件、微机械光学器件射频MEMS、开关、振荡器、过滤等；?射频MEMS：开关，振荡器/谐振器、过滤等；MEMS传感器：加速度计、轴传感器、陀螺仪、压力传感器、重力传感器、角速度传感器、位移传感器、触摸传感器、气体传感器、温度传感器、磁力计、磁传感器、电子罗盘、湿度传感器、流量传感器、振动传感器、电容传感器、电学传感器、倾角传感器、机械传感器、硅麦克风、图像传感器、MEMS惯性传感器、MEMS微镜、MEMS惯性测量单元、BAW滤波器和双工器、微射流、微流引导、微感应器等；MEMS执行器：生物芯片、材料芯片、灯、泵、微流控芯片；MEMS电能：燃料电池，微发电机等；生物/化学MEMS：DNA/RNA技术，化学检测等、MEMS晶振；高复合型MEMS：CMOS/MEMS,LSI/MEMS 一体化、MEMS IP等；MEMS应用：MEMS传感器解决方案、麦克风,显示等、超微型机械人装置、微型工厂等、传感器网络、能量收集等；2、生物MEMS与医疗应用：MEMS技术在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNARNA技术、微反应器、微流引导、微流控芯片等；3、MEMS加工设备光刻设备：半导体激光直写光刻、投影扫描光刻机等、无掩膜光刻设备、曝光系统、双面测试系统；镀膜设备：磁控溅射镀膜设备、离子束溅射镀膜设备、电子束蒸发镀膜设备、多弧