光刻工艺培训2013题库.pptVIP

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  • 2016-12-25 发布于湖北
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按照指令要求将检验合格的玻璃正确装篮、上线。 ITO表面电阻值要求 规格(ITO表面电阻值) (Ω/□) ITO面电阻范围 (Ω/□) STN15 9~13 STN20 13~20 STN30 20~28 STN60 35~60 TN180 60~80 HTN40~60 40~60 外观质量标准 检验项目 标准 玻璃表面划伤 宽:>0.1mm 不允许 宽:≤0.1mm 多条总累计长度≤20mm,单条长度≤5mm ITO膜面划伤 不允许 粘附物 不允许有不溶于水或碱性清洗液的粘附物(油污、水渍) 裂痕 不允许 玻璃突起 不允许 崩边 a?b?c<2.0?1.5?(1/2d) (d为玻璃厚度) 操作要求1 ITO玻璃连同包装应存放在干燥、阴凉、清洁的环境中,温度28度以下,湿度不大于70%RH为宜2拿取玻璃时应使用无尘手套,应用双手“夹持”玻璃的两边,严禁裸手接触玻璃表面;3拿取玻璃时应使用无尘手套,应用双手“夹持”玻璃的两边,严禁裸手接触玻璃表面;4拿取玻璃时应使用无尘手套,应用双手“夹持”玻璃的两边,严禁裸手接触玻璃表面; 玻璃经过碱清洗、超声清洗,兆声清洗、纯水喷淋清洗,然后经过风刀吹干,IR、UV照射 清洗的超声波应用原理是由超声波发生器发出的高频振荡信号,通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质,清洗溶剂中超声波在清洗液中疏密相间的向前辐

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