现代理化-南航选编.docx

第二章：SEM1、电子与样品作用产生哪些信号？（解释、用途、产生原因）背散射电子、二次电子、透射电子、特征X射线、俄歇电子背散射电子：固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子，包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子，总的反射角大于90°，能量高，背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成分分析。二次电子：由于高能电子与样品原子核外电子的非弹性碰撞，使电子从原子中逃离。这些能量小于50eV的被轰击出来的电子称为二次电子。一个入射电子能激发几个二次电子，由二次电子的产率d=nse/nB；SE∝K/cosθ可知，二次电子产率与原子序数无关，与入射角度有关。用于观察样品表面形貌。透射电子：能量会损失，样品厚度小于入射电子的有效穿透深度，就有相当数量的入射电子能够穿过样品成为透射电子。入射电子穿透样品的过程中将与原子核或核外电子发生有限次弹性或非弹性散射，因此样品下方检测到的透射电子信号中，除了有能量与入射电子相当的弹性散射电子外，还有各种不同能量损失的非弹性散射电子，其中有些特征能量损失△E的非弹性散射殿宇和分析区域的成分有关，因此可进行微区成分分析。特征X射线：原子的内层电子收到激发后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁辐射。入射电子与核外电子作用，产生非弹性散射，外层电子脱离原子成为二次电子，使原子处于能量较高的激发状态，不稳定