6英寸大小N..docVIP

6英寸大小Nanoimprint完整领域晶圆片 对光子晶体微影模式迈克尔Hornung1蓟,跑1Verschuuren,马克。2Laar和罗伯特·范·坑中21MicroTec忘得一干二净,Schleissheimer光刻GmbH是一家现代化的、可靠84748蒲朗克。90,ⅰ,ⅱ,德国飞利浦研究、高科技校园34岁了,5654 AE埃因霍温,荷兰 michael.hornung@ HB-LED市场的迅速增长,在过去的岁月 看到超过50%,今年的经济增长高峰[1]。当前 应用主要由手持设备背光,例句。 手机、pda、GPS、笔记本等。为了打开该将军 门发光效率的照明市场需要 有显著的提高。光子晶体带隙结构(PhC)在发光二极管 论证了提高光提取效率 研究人员进行的晶圆片级[2]。然而,还有一名伟大的球员 制作PhC桩结构与挑战costeffectively LED晶片。 Nanoimprint光刻(零)是一项很有发展前途的技术 制造电子设备的低海里的规模。然而, 当前的零技术有刚性的邮票上依赖强烈 基体平坦度控制和生产的氛围。UV-NIL与 灵活的邮票、例句。PDMS压模,允许最大面积的印记 在一个单一的一步,是less-sensitive生产的氛围。 不幸的是,这项决议,通常是有限的,由于邮票 压力畸变引起的烙印。零技术的 飞利浦研究和开发的MicroTec忘得一干二净,基体上 SCIL印光刻(形),桥之间的差距 UV-NIL有刚性的邮票最好的分辨率和柔软的邮票 大面积的模式。 i .介绍 Nanoimprint光刻(零)是一项很有发展前途的技术 制造电子设备的低海里的规模。这里 高亮度发光管(HB-LED)制造是一种很有潜力的 应用领域为零的技术。HB-LED市场的 在过去两年中迅速增长50%以上,就会看到更伟大 今年的经济增长[1]。这里的光子晶体结构 论证了在研发提高产出效率水平 [2]。然而,这样的LED还没有被介绍为 标准生产,因为这个过程制作 光子晶体带隙结构(PhC)是昂贵的使用标准 平版技术。这仍然是一个巨大的挑战制造 在LED晶片cost-effectivel PhC结构零技术 吸引了人们的关注,由于它在这个地区 高分辨率和低成本的所有权[3]。 有几个零候选人在市场:热 压花,UV-NIL步进用坚硬的邮票,和完整领域 零用柔软的邮票。热压花一直踢出去 这场比赛由于其热循环。的产量 目前在市场上零步还是太低,以满足 大规模生产的要求。此外,由于大多数的 上面是导致植物洁净室的使用类10000 粒子敏感的石英邮票是有限的。软邮票印 技术允许大面积印记及少 敏感的粒子(图1)。不幸的是,该决议是 通常限于由于几百奈米 压力畸变引起的邮票烙印。 印光刻(SCIL衬底形)的沟通桥梁 采用刚性邮票差距UV-NIL最佳分辨率 为大面积的模式和柔软的邮票。基于costeffective升级,曝光曝光SUSS面具的能力 nanoimprint可提高到与sub-50海里的决议 到6英寸直径的地区,而不影响所建立的 传统的光学平版过程对这台机器。 II。 SCIL原理 描述中的基质适形印光刻 (SCIL)技术结合的优势,为软加盖 一个刚性玻璃载体[4]。PDMS印章的工作 复制硕士学位和一个所谓的主人的复制 模具(捷运)和一个自动分离工具。这 模具允许同时坚持(PDMS)上 图1 .扫描电镜照片光子晶体结构的烙印在 通过SCIL粒子,这也显示出SCIL技术是麻木不仁 粒子,因此在高容量生产潜力。 印光刻(SCIL衬底形)的沟通桥梁 采用刚性邮票差距UV-NIL最佳分辨率 为大面积的模式和柔软的邮票。基于costeffective升级,曝光曝光SUSS面具的能力 nanoimprint可提高到与sub-50海里的决议 到6英寸直径的地区,而不影响所建立的 传统的光学平版过程对这台机器。 II。 SCIL原理 描述中的基质适形印光刻 (SCIL)技术结合的优势,为软加盖 一个刚性玻璃载体[4]。PDMS印章的工作 复制硕士学位和一个所谓的主人的复制 模具(捷运)和一个自动分离工具。这 模具允许同时坚持(PDMS)上薄玻璃载体(图2)。所以用户能够生产 高质量的SCIL工作邮票来自任何类型的主人。 然而,在表面的主人邮票复制需要的 用一个anti-adhesive修改层,为了保护 主人对污染物的残差,e.1H PDMS、质、硅2H-Perfluorodecyltrichlorosilane 2H,主人 [5]。描述中的几何相结合的邮票平面内 rigidness载体,避免了玻璃的侧向邮票 变形及弹性的out-of-plane方向 薄玻璃载体基底形印。 虽然PDMS压模的波浪形的可以补偿 直接接触底物,在大面积的邮票 复制会导致non-con