APL操作流程..pptVIP

APL操作流程 06241 04 杨晓钦 概念：APL,将substrate装载到carriers上的一个站点所需设备和材料： LKT TMT 1214 装载机/卸载机 料盒推车 料盒 FOL/EOL料盘 Ergo推车等 准备工作： 内务整理，清洁机器 寻找掉落在机器里的基片，按照基片销毁程序销毁基片 确认机器状态 确认库房中基片状态 现阶段批次的状态 确认有无工程批次，暂扣批次 操作流程： 跟MH核实APL待加工批次 根据批次要求领料 获取该批次的基片和WITS单据 核实实际数量是否和WS相符 如有残余批次，应按照SPEC要求优先处理 在机器中设置要加工的批次数量 在卸载机\装载机中装入空料盘\料盒的推车 装入基片开始加工 加工完毕,打印出ATPO单据 紧急情况处理流程: 若危及人身安全,按下所有机器的EMO开关,关掉设备上的主电源开关,关掉外部的三相电源 危及产品安全,按下停机按钮 如遇紧急疏散,遵守ERT指令 EHS危险概要: 不要进入机器内部或短接互锁开关 不要直视激光束 必须等电机停下后才可以装载或卸载料盘 不要试图去取掉在机器里的units,需叫MTE帮忙 人机工程学： 当搬运装满一半一下的料盒时，用双手尽量贴近身体或借助液压台车 当搬运装满一半一上的料盒时，应该有两个人共同搬运 搬运料盒时应屈膝并挺直后背 要用双手给APL加料盘 一次最多拿15片