Ch02MEMS器件执行器..pptVIP

工作环境必须是液体环境，限制了其最大工作速度（由于阻尼）和效率（由于液体的热导）。 热驱动方法功耗较大，且因为热时间常数，其带宽比较低。热气动式由于要有密封腔，所以生产装配工艺较为复杂。 缺点： 微执行器的分类 按驱动原理分类 静电式微执行器 压电式微执行器 热微执行器 电磁式微执行器 形状记忆合金微执行器 电磁式微执行器 原理：通过线圈通电产生磁场，导磁体由于磁场力的作用而产生运动。任何载流导体在磁场中都要受到洛伦兹力的作用。电磁执行器就是以洛伦兹力为主要驱动力。 通电导体产生磁场。平行的两条导线中通以相同方向的电流则彼此之间相互吸引，如果通以相反的电流，则彼此之间相互排斥。 电磁执行器在数毫米内产生作用力，动作幅度大；其缺点是功耗一般较高，而且产生的磁场会对附近的物体产生一些影响。例如移动带电微粒或影响磁数据存储介质。 载流导线周围某点磁场强度 单圈线圈中心处磁场强度 单圈线圈对中心导磁体的作用力为 “弯曲”线圈结构是平面内蜿蜒形导体，它与一个双层的磁芯交错在一起。 带驱动线圈的磁执行器 电磁式微执行器实例(1) 永磁体 氮化绝缘层 入口 出口 德国的电磁致动微型阀 金线圈 多晶硅 德国研制的电磁致动微阀，阀片为牺牲层技术制作的多晶硅膜。这是为小型气体分析仪设计的微阀结构，设计的压力指标为10-50kPa，过流能力为2-20mL/min，响应时间为5ms。 电磁致动微阀 电磁式微执行器实例(2) 铁镍合金 线圈 导管 硅 外部驱动微机械电磁阀 该阀由一个NiFe溅射阀座和一个可开启、关闭的可移动NiFe阀膜组成。依靠活动膜片上支撑弹簧的内力，可以制成常开或常闭阀。微机械阀元件放置于携带有流体的管道中，管道的外面是由外加线圈形成的磁场，构成了一种电隔离操作。 外加磁场的电磁阀 电磁式微执行器实例(3) 电磁光开关 电磁式微执行器实例(4) 电磁场 光纤 MEMS驱动器 电磁驱动光纤开关原理示意图 加州理工学院设计的一种电磁驱动光纤开关的原理示意图。当开关处于开状态时，电磁驱动器带着双面微镜向上运动，将微镜置于光纤之间，每个输入光纤的光信号经反射后从相邻的输出光纤输出，如图a所示；在关状态，微镜在光纤之下，输入光纤的信号直接从正前方的输出光纤输出，如图b所示。 微执行器的分类 按驱动原理分类 静电式微执行器 压电式微执行器 热微执行器 电磁式微执行器 形状记忆合金微执行器 形状记忆合金执行器 有些材料在受热时，其长度能发生很显著的变化（收缩），将它们总称为形状记忆合金（SMA），其中最著名的是钛镍合金。 SMA效应源于合金马氏体（主要为三角晶系）和奥氏体（高度均匀）晶相之间与温度有关的相变。 现象：受到机械力作用而产生变形的合金，一旦受热就会恢复到它们未变形前的状态。 加热方式：通电流 在预置温度T时弯曲的合金片依附在硅悬臂梁上。室温时梁是直的。当把梁和附于其上的合金片加热到温度T时，合金的“记忆”被唤醒并试图恢复原来的弯曲形状。合金的弯曲迫使悬臂梁一起变形，由此达到致动效果。这种方式的致动被广泛用在微型旋转致动器、微型关节和机器人、以及微弹簧上。 优点：相对的“线性”控制和很高的应力（大于200MPa），如果应变保持在2℅以下，就可以工作几百万个循环。 缺点：需要特殊的合金和很高的功耗。 多晶硅 二氧化硅 Cr 二氧化硅 Cr 硅 硅 a) 形状记忆合金元件 聚酰亚胺 间距块 聚酰亚胺 薄膜 流体出入口 基座 顶盖 b) 形状记忆合金致动微阀 澳大利亚New South Wales大学和台湾新竹清华大学联合研制的形状记忆合金致动微阀，该阀的阀口尺寸为60?m?60?m，过流能力0~6ml/min。 形状记忆合金致动微阀 形状记忆合金微执行器实例 微机械不同致动方式的特点 致动方式 驱动力 行程 响应时间 可靠性 电磁活塞式 小 大 中等 好 压电片式 小 中等 快 好 叠层压电片式 很大 很小 快 好 气动式 大 大 慢 好 形状记忆合金式 大 大 慢 差 静电式 小 很小 很快 很好 热气动式 大 一般 一般 好 电磁式 小 大 快 好 双金属热致动式 大 大 一般 好 作业 为什么用静电力驱动微电动机，而不用通常的电磁力？解释为什么这种驱动技术没有使用在大型装置和机器里？ 简述四种微器件常用的驱动技术。每种技术至少举出一个优点和一个缺点。 在课外自行搜索一个（类）MEMS器件（传感器或执行器）的实例，提炼组织搜索到的材料，介绍该器件的原理、结构、技术参数、应用等内容。 解： 作用在平板上的法向静电力 的大小，可以由公式计算出来，其中空气为 绝缘介质，相对介电常数为