光学薄膜设计理论52012.pptVIP

第二章 光学薄膜设计理论2 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. §2.1矢量作图法法 如果忽略膜层内的多次反射，则合成的振幅反射系数由每一界面的反射系数的矢量和确定。每个界面的反射系数都联带着一个特定的相位滞后，它对应于光波从入射表面进至该界面又回到入射表面的过程。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 如果膜层没有吸收那么各个界面的振幅反射系数为实数 各层薄膜的位相厚度为: Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 矢量法计算步骤： （1）计算各界面的振幅反射系数和各膜层位相厚度。 （2）把各矢量按比例地画在同一张极坐标图上，然后按三角形法则求合矢量。 （3）合矢量的模即膜系的振幅反射系数。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 为了避免在作矢量图时方向混乱，我们可以规定： 2． 矢量之间的夹角仅决定于膜层的光学厚度和所考察 的波长(即决定于膜层的位相厚度)按逆时针方向旋转。界 面上的位相跃变已经包含在振幅反射系数的符号中，不必另作考虑。 1． 矢量的模r1, r2, r3, r4…，正值为指向坐标原点,负 值为离开原点． Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 举例：3层膜N0=1 N1=1.38 N2=1.9 N3=1.65 N4=1.52 各层的光学厚度：N1d1=λ/4 N2d2=λ/2 N3d3=λ/4 λ 0=520nm,我们分别计算400nm 520nm 650nm处的反射率 反射系数分别： 不同波长的夹角： 波长 夹角 δ12=2δ1 δ23=2δ2 δ34=2δ3 400nm 1.3π 2.6π 1.3π 520nm π 2π π 650nm 0.8π 1.6π 0.8π Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 矢量法 R400nm=0.81% R520nm=0.09% R650nm=0.49% Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 应用：通过调整膜层厚度实现零反射。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. §2.2 有效界面法 单层膜内的多次反射 单层介质薄膜有关参数定义如下： Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 因为 令 又 所以 合成振幅透射系数： 考虑多光束干涉，合成振幅反射系数： Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. r1- r2+ t1+ t2+ 界面 2 界面 1 有效界面法(Smith)法：这个方法是使选定的膜层从膜系中分离出来，