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维修组教育训练讲义 《设备故障分析》 维修组教育训练讲义 外延的基本物理过程 1. 表面成核——对外延材料结构有最大影响的阶段是生长的最初阶段，这个阶段叫成核。当衬底表面只吸附少量生长物原子时，这些原子是不稳定的，很容易挣脱衬底原子的吸引，离开衬底表面。所以，要想在衬底表面实现外延材料的生长，首先由欲生长材料的原子（或分子）形成原子团，然后这些原子团不断吸收新的原子加入而逐渐长大成晶核。它们再进一步相互结合形成连续的单晶薄层。 成核与生长过程示意图 2.表面动力学 反应物到衬底后,通常发生下列过程: ① 反应物扩散到衬底表面; ② 反应物吸附到衬底表面; ③ 表面过程（化学反应、迁移及并入晶格等； ④ 反应附加产物从表面脱附； ⑤ 附加产物扩散离开表面。每个步骤都 有特定的激活能，因此，在不同外延温度下对生长速率的影响不同。 表面过程 如果不考虑生长速率，仅从外延质量来看上述过程③表面过程非常重要。 沉积到衬底表面上的原子通常去寻找合适的位置落入，使得系统的总能量降至最低。对于实际表面，像表面台阶之类的表面缺陷是原子并入晶格的最佳位置。（见下图） 生长机制 对于表面上存在许多淀积原子的情况，它们除了在表面处键合外，还相互结合以进一步减少自由键的数目。外来的淀积原子不断加入小的原子群并形成大的聚集体。显然，当这些原子团继续生长时，它们自己就被看作是提供高结合能位置的表面缺陷，