哈工大微电子工艺01单晶硅摘要.ppt

微 电 子 工 艺 哈尔滨工业大学 田丽 tianli@绪论 引言 微电子工艺发展状况 微电子工艺特点与用途 本课程内容 1 引言 ?早在1830年，科学家已于实验室展开对半导体的研究。 他们最初的研究对像是一些在加热后电阻值会增加的元素和化合物。这些物质有一共同点，当它们被光线照射时，会容许电流单向通过，可藉此控制电流的方向，称为光电导效应。 在无线电接收器中，负责侦测讯息的整流器，就是一种半导体电子仪器的例子。 ? 到了1874年，电报机、电话和无线电相继发明，使电力在日常生活中所扮演的角色，不再单单是能源的一种，而是开始步入了信息传播的领域，成为传播讯息的一种媒介。而电报机、电话以及无线电等早期电子仪器亦造就了一项新兴的工业──电子业的诞生。? 基本器件的两个发展阶段 分立元件阶段（1905～1959） 真空电子管、半导体晶体管 集成电路阶段（1959～） SSI、MSI、LSI、VLSI、ULSI 什么是微电子工艺 微电子工艺，是指用半导体材料制作微电子产品的方法、原理、技术。 不同产品的制作工艺不同，但可将制作工艺分解为多个基本相同的小单元（工序），称为单项工艺 不同产品的制作就是将单项工艺按需要顺序排列组合来实现的。 微电子工业生产过程图 npn-Si双极型晶体管芯片工艺流程----硅外延平面工艺举例 2 微电子工艺发展状况 诞生:194