Centrotherm扩散炉机械臂Arm发生错位的处理流程.docVIP

题 目：Centrotherm扩散炉机械臂Arm发生错位的处理流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 1. 准备好内六角扳手、直角尺。如下图： 2首先用直角尺分别测量两边Arm到基准侧板的距离,。如下图： 测量的时候注意不要有偏差 内六角扳手、直角尺 直角尺 2min 10min 1人 1人 题 目： Centrotherm扩散炉机械臂Arm发生错位的处理流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 3.对比两边机械臂Arm的尺寸是否有偏差？ 4. 选择主动侧（机械臂Arm左）为基准侧，来调整 从动侧（机械臂Arm右）。如下图： 5.用内六角松开联轴器螺丝，将从动侧的（机械臂Arm 右）到侧板的距离调整到和主动侧一