《电工电子学》电子与物质的相互作用.pptVIP

* 1924年德布洛依提出了微观粒子具有波粒二象性的假设(1929诺贝尔物理).1922年，物理学家布施利用电子在磁场中的运动与光线在介质中的传播相似的性质，可以实现电子波聚焦，研究成功了电子透镜，为电镜的发明奠定了基础。 当高能入射电子束轰击样品表面时，入射电子束与样品间存在相互作用，有99%以上的入射电子能量转变成样品热能，而余下的约1％的入射电子能量，将从样品中激发出各种有用的信息，主要有： 1)X射线(XR)—由于原子的激发和退激发过程，从样品的原子内部发射出来的具有一定能量的特征X射线，发射深度为0.5-5um范围。为衍射分析(XRD) 的主要手段。 2)二次电子(SE)—从距样品表面l00?左右深度范围内激发出来的低能电子(50 eV),主要特点:a)对样品表面形貌敏感;b)空间分辨率高;c)信号收集率高; 二次电子信息的上述特点使其成为扫描电子显微镜(SEM)成像的主要手段。 3)透射电子(TE)—如果样品足够薄(1um),透过样品的入射电子为透射电子，其能量近似于入射电子能量。主要特点:a)质厚衬度效应(质量或厚度); b)衍射效应(Bragg 方程); c)衍衬效应(位向或结构);上述特点使其成为扫描电子显微镜(TEM)成像的主要手段。 电子+声子+缺陷 电子与物质的相互作用 4)背散射电子(BE)—从距样品表面0.1-1um深度范围内散射回来的入射电子，其能量近