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第7章 压电式传感器 7.l 压电式传感器的工作原理 7.2 压电元件的等效电路及测量电路 7.3 压电元件常用结构形式 7.4 压电式传感器应用 　　　压电式传感器是利用某些物质的压电效应制作的传感器。 　　　压电效应是可逆的，即有两种压电效应： 其一为正压电效应，当沿着一定方向对某些电介质施加力而使其变形时，在一定表面上产生电荷，当外力去掉后，又重新回到不带电的状态； 其二是逆压电效应，当在介质的极化方向施加电场时，这些电介质就在一定的方向上产生机械变形或机械应力；当外加电场撤去后，这些变形或应力也随之消失。 可见压电式传感器是一种典型的“双向传感器”。 7.1压电式传感器的工作原理 7.1.1压电效应 某些电介质, 当沿着一定方向对其施力而使它变形时, 其内部就产生极化现象（内部正负电荷中心相对位移）, 同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷, 当外力去掉后, 其又重新恢复到不带电状态， 这种现象称压电效应。当作用力方向改变时, 电荷的极性也随之改变。 这种机械能转为电能的现象, 称为“正压电效应”当在电介质极化方向施加电场, 这些电介质也会产生变形, 这种现象称为“逆压电效应”（电致伸缩效应）。可将电能转换为机械能。具有压电效应的材料称为压电材料, 压电材料能实现机—电能量的相互转换。 　　 当晶片在沿X轴的方向上受到压缩应力sxx的作用时，晶片将产生厚度变形，并发生极化现象。在晶体的线性弹性范围内，极化强度Pxx与应力sxx 成正比，即 　　　 　　　而极化强度Pxx等于晶片表面的电荷密度， 即 　　　 把Pxx值代入得 　　　 由式看出，当晶片受到X向的压力作用时，qxx与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关。 　　　 石英晶片受压力或拉力时，电荷的极性如图所示 　　　 　　　在X轴方向施加压力时，左旋石英晶体的X轴正向带正电；如果作用力Fx改为拉力时，则电荷仍出现在在垂直于X轴的平面上，但极性相反，如图（a）、（b）。如果在同一晶片上作用力是沿着机械轴的方向，其电荷仍在与 X轴垂直平面上出现，其极性见图（c）、（d），此时电荷的大小为 　 　　　根据石英晶体轴的对称条件 　　　 　　　负号表示沿Y轴的压缩力产生的电荷与沿X轴施加的压缩力所产生的电荷极性相反。由式可见，沿机械轴方向对晶片施加作用力时，产生的电荷量是与晶片的几何尺寸有关的。 2、压电陶瓷 　①未加电场 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。它具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。电畴是分子自发形成的区域，它有一定的极化方向，从而存在一定的电场。在无外电场作用时, 电畴在晶体中杂乱分布, 它们的极化效应被相互抵消, 压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性, 不具有压电性质。 　②加电场 　　　电畴方向发生转动, 趋向于按外电场方向的排列, 从而使材料得到极化。外电场愈强, 就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度, 即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时, 外电场去掉后, 电畴的极化方向基本不变, 这时的材料具有压电特性。 　　　压电陶瓷在极化面上受到垂直于它的均匀分布的作用力时（亦即作用力沿极化方向），则在这两个镀银极化面上分别出现正、负电荷。其电荷量q与力F成正比，比例系数为 d33，亦即 　　　式中 d33——压电陶瓷的纵向压电系数。 　　　下标的意义与石英晶体相同，但在压电陶瓷中，通常把它的极化方向定为Z轴（下标3），这是它的对称轴，在垂直于Z轴的平面上，任意选择的正交轴为X轴和Y轴，下标为l和2，所以下标 l和2是可以互易的。 　　　极化压电陶瓷的平面是各向同性的，对于压电常数，可用等式 d32=d31表示，它表明平行于极化轴（Z轴）的电场，与沿着 Y轴（下标2）或X轴（下标１）的轴向应力的作用关系是相同的。极化压电陶瓷受到均匀分布的作用力F时，在镀银的极化面上，分别出现正、负电荷q。 　　　式中 Ax——极化面的面积； 　　　　　 Ay——受力面的面积。 7.2压电元件的等效电路与测量电路 7.2.1等效电路 　　　 压电传感器中的压电晶体承受被测机械力的作用时，在它的两个极板面上出现极性相反但电量相等的电荷。显然可以把压电传感器看成一个静电发生器，如图所示，显然也可以把它视为一个极板上聚集