《9第九章金属化与多层互连.pptVIP

9.6.1 多层互连对VLSI的意义 1.提高集成度； 2.降低互连延迟： 3. 降低成本 （目前Cu互连最高已达10多层） 9.6 VLSI与多层互连 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 平坦化的必要性 9.6.2 平坦化 9.6 VLSI与多层互连 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 集成电路制造技术第九章 金属化与多层互连 西安电子科技大学 微电子学院 戴显英 2012年8月 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 第九章 金属化与多层互连 金属化：金属及金属性材料在IC中的应用。 金属化材料分类：（按功能划分） ①MOSFET栅电极材料－MOSFET器件的组成部分； ②互连材料－将