《PECVD法制备多晶硅薄膜.pptVIP

毕业论文题目 PECVD法制备多晶硅薄膜研究 总纲 1太阳能光伏行业 2太阳能电池 3论文主要任务 4论文重点内容 5总结及展望 论文重点内容 1 多晶硅薄膜的结构和特性 2 多晶硅薄膜的制备方法 3 PECVD设备和基本原理 4 PECVD沉积动力学分析 5 PECVD制备多晶硅薄膜影响因素 论文主要任务 了解太阳能光伏行业的现状和发展趋势，搜集太阳能电池的相关信息。 掌握多晶硅薄膜的微观结构、性能要求，为后面分析奠定基础。 总结归纳多晶硅薄膜的主要制备方法。PECVD可以低温、直接制备多晶硅薄膜，具有美好的发展前景。 掌握PECVD设备和基本原理，了解PECVD制备多晶硅薄膜中，沉积的动力学过程。 研究探讨PECVD制备多晶硅薄膜中的主要影响因素：反应气源、衬底材料、氢稀释浓度(硅烷浓度)、衬底温度、射频功率、反应气体压强 等。 通过Raman光谱、SEM、数据曲线图等同步结合沉积理论，给出各影响因素的理论解释，对工业化生产具有指导意义。 太阳能光伏行业发展趋势 太阳是万物之源，它不但清洁，而且取之不尽用之不竭，对环境无任何污染。 21世纪以来，全球太阳能电池产业平均年增长率达30%以