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硅片尺寸检查 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 上片过程中如发现有油污片、发亮片、微晶片(片源有“微晶片”说明的除外)等异常情况,需挑出并告知工艺员。 将缺角、隐裂等不合格硅片挑出,退库。 每放1500片时需更换手套,出入车间时需换手套。 上料检验 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 先将硅片分成扇形状,再一片片的取下插入小花篮中,注意轻拿轻放。 插片 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 注意: 安全 补水量及槽内的清洁 需按照工艺文件配液,严禁私自配液。 配液 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 注意安全: 需按照工艺文件的要求配液,严禁私自配液。 补液 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 水洗 漂洗 碱洗 漂洗 酸洗 漂洗 烘干 上料 开机 机器准备 配液 下料 关机 清洁 扩散工序 物料准备 检 验 返工流程 制绒 工艺流程 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 化学品溅入眼内,立即分开眼睑,用大量清水作长时间冲洗,就医。 化学品皮肤接触后立即用大量流水作长时间彻底冲洗,尽快地稀释和冲去,就医。(HF) 化学品误服后应立即催吐或洗胃,并送医院急救。 补充:衣服上沾有化学药水应用清水冲洗,再及时吹干。 化学品的急救 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 在扩散过程中发生如下反应: POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面, P2O5与Si反应生成SiO2和磷原子: 这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2,称之为磷硅玻璃。 什么是磷硅玻璃? Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 氢氟酸是无色透明的液体,具有较弱的酸性、易挥发性和很强的腐蚀性。但氢氟酸具有一个很重要的特性是它能够溶解二氧化硅,因此不能装在玻璃瓶中。 在半导体生产的清洗和腐蚀工艺中,主要就利用氢氟酸的这一特性来除去硅片表面的二氧化硅层。 磷硅玻璃的去除 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 清洗和制绒工艺培训 2011年9月11日 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 主要内容 多晶 单晶 制绒的目的 去磷硅工艺 制绒原理及工艺 清洗工序注意事项 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 捕获更多的光子 消除表面污染
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