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原子力显微镜 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 第一代：光学显微镜 16世纪末， 荷兰人Janssen发明了第一台复式显微镜 1665年，英国科学家罗伯特·胡克用他的显微镜发现了细胞 1680年，列文虎克磨制的单片显微镜的放大倍数将近300倍 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 第一代：光学显微镜 列文虎克观察到的“小动物” 罗伯特·虎克观察到的细胞 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 第一代：光学显微镜 相较于过去两个世纪， 现在我们使用的普通光学显微镜基本上没有什么改进。 原因：光学显微镜已经达到了分辨率的极限。 对于使用可见光作为光源的显微镜，它的分辨率极限是0.2μm。任何小于0.2μm的结构都没法识别出来。 提高显微镜分辨率的途径是设法减小光的波长，或者，用电子束来代替光。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 第二代：电子显微镜 1938年，德国工程师Max Knoll和Ernst Ruska制造出了世界上第一台透射电子显微镜（TEM） 1952年，英国工程师Charles Oatley制造出了第一台扫描电子显微镜（SEM） 扫描式电子显微镜SEM 透射式电子显微镜TEM Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 第二代：电子显微镜 电子显微镜的分辨率可以达到纳米级 1. 样品处理过程复杂 2. 要在高真空的环境下操作 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 第三代：扫描探针显微镜 1983年，IBM公司两位科学家Gerd Binnig和Heinrich Rohrer发明了扫描隧道显微镜（STM），但只能测导体和部分半导体 1985年，IBM公司Binning和Stanford大学的 Quate研发出了原子力显微镜（AFM），弥补了STM的不足 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. STM基本原理 隧道效应：量子力学认为，即使粒子能量小于阈值能量，很多粒子冲向势垒，一部分粒子反弹，还会有一些粒子能过去，好像有一个隧道，故名隧道效应。 隧道电流随探针样品间距离减小而呈指数增加． 要求样品导电性要好，所以只能测导体和部分半导体。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. AFM基本原理 AFM是在STM的基础上发展起来的。所不同的是，它不是利用电子隧道效应，而是利用原子之间的范德华力作用来呈现样品的表面特性。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. AFM基本原理 （1）将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触。 （2）由于针尖尖端原子与