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LCOS和MILC技術分析 LCoS(矽基液晶)顯示幕設計與應用 用於背投高清晰電視的LCOS LCOS和MILC技術分析 2006-4-27 -------------------------------------------------------------------------------- 內容摘要:本文介紹LOGS和MILG技術的近來發展及應用。LGOS技術是矽基CMOS集戚電路技術和LGD技術相結合的反射式顯示技術，它具有高密度、高解析度顯示特點，應用於投影顯示和頭盔顯示。MILG技術是金屬誘導橫向晶體生長技術，此技術成功地應用到低溫p－Si TFT，並成為激退火低溫p一Si TFT技術的有力競爭者。它具有設備投入低、工藝筒便可靠、重複性好、均勻性好等特點。MlLG將成為低溫p一Si TFT的核心技術，受到TFT產業界的重視。 引言 直視式大螢幕電視和顯示器尚未大量投放市場，使投影顯示發展活躍起來，其中LCOS(LiquidCrystalonSilicon)反射式投影顯示剛剛迸人市場，引起人們的重視。因為LCOS技術借矽基CMOS積體電路技術，在單晶矽片上CMOS陣列取代a一Si TFT LCD中玻璃基板上a一Si TFT陣列，相比之下前者生產技術更成熟，還有單晶矽遷移率遠高於a一Si遷移率，因此不僅適合於高密度、高解析度、高開口率顯示，而且可以周邊