射频微电子机械系统幻灯片要素.ppt

欧姆式RFMEMS开关可靠性的分析 李枭 2015/11/26 射频微电子机械系统 1.RF MEMS 射频(RF)微电子机械系统(MEMS)是借用微电子加工工艺技术制作的小型机械器件或系统,用于RF和微波频率(0.1～100GHz)电路中的信号处理。 射频微电子机械系统 RF MEMS开关靠悬梁或膜桥的机械移动实现对RF信号传输线的通/断控制,是最常见的RF MEMS控制元件,是RF结构中一个关键的MEMS器件。根据RF信号通道形式,MEMS开关可分为欧姆接触式和电容耦合式两种。 射频微电子机械系统 欧姆式开关是通过金属与金属的直接接触实现RF信号的导通,适用于0.1～6GHz、低功率(0.1～5mW)频率电路中;而电容式开关则是靠金属膜-绝缘层-金属膜的电容耦合控制RF信号的通/断,在6GHz以上工作性能较好,并且适合较高功率频率电路的应用。 射频微电子机械系统 2.欧姆接触式MEMS开关的失效机理 机理：欧姆接触式MEMS开关失效主要是来自于重复动作中接触电阻的增加或黏附的发生。 并非是机械原因：机械偏转相对较小，悬梁、膜桥结构因而机械失效的成分较低。 射频微电子机械系统 3.欧姆接触材料的选择 接触材料的选择,要考虑材料硬度、电阻率/接触电阻、熔点和工艺难度等因素。 （1）.欧姆式MEMS开关的接触电阻要尽可能小,以减小焦耳热和RF信号的插入损耗。(Au-Au) （2）.一般来说,与纯金相比,增加材料的硬度就会 增加开关的可靠性。通常却以增加接触电 阻和最小接触力(从而会增加驱动电压)为代价。 射频微电子机械系统 （特别的）欧姆接触的失效,还会随RF功率的增加引起接触区的升温造成金属层间的微焊接而加剧,这对于大功率RF应用是很不利的。例如,10mW的RF功率就会使开关的寿命从数十亿次减少到数百万次。对于需要更高功率处理能力的RF系统,Au-Pt和Au-Ir接触比Au-Au接触更为适宜。 射频微电子机械系统 4.器件结构设计的改进 主动断开/被动接触式双稳态机制 射频微电子机械系统 5.结语 近来,有新的实验研究工作表明衬底也会由于能够捕获电荷而对MEMS开关的寿命产生影响,即对衬底材料的选择不应该只限于低损耗的射频要求。一旦电荷注入问题及金属-金属接触退化问题得到解决,MEMS开关接下来的可靠性就取决于湿气引起的粘连,即MEMS开关要封装于干燥或惰性气体环境中。 射频微电子机械系统 我的报告结束了，感谢黄老师!黄老师的教导让我对射频微电子技术有了基本的了解，并且通过学习本课掌握了科学研究的一些基本方法，比如文献检索、使用科学语言和阅读英文文献。祝黄老师工作顺利，生活愉快，并祝各位学有所成。 顺颂时祺 李枭 2015/11/26 * * * * * * * * * * * * * * * * * *