3.光电器件解读.ppt

2光电位置探测器（PSD） Position Sensitive Detectors 定义 PSD是一种能检测光电位置，利用集成电路技术使2个至几百个光电二极管或光电池排成一行，集成在一块集成电路片子上，PSD有两种：一维PSD和二维PSD。一维PSD用于测定光电的一维坐标位置，二维PSD用于测定光电的二维坐标位置，工作原理与一维PSD相似。 与象限探测器相比，特点： 1、它对光斑的形状无严格要求，即输出信号与光的聚焦无关，只与光的能量中心位置有关，这给测量带来了方便； 2、光敏面上无需分割，消除死区，可连续测量光斑位置，位置分辨率高，一维PSD可达0.2μm； 3、可同时检测位置和光强－－PSD输出的总电流与入射光强有关，而各信号电极输出光电流之和等于总光电流。 结构 一维PSD工作原理 1入射光子，2受光面，3、4输出电极5、6输出电流，7正电荷移动，8负电荷移动 入射光在半导体内产生正负等量电荷，即通过PN结在入射点附近的P层产生正电荷，在N层产生负电荷。P层不均匀的正电荷形成电流，引出端输出与到输出电极成反比的电流。 光点的入射位置与电流之间有如下关系， I1 电极1的电流 I2 电极2的电流 I0 总电流，I0＝I1十I2 L 电极间长度(受光面长度) x 电极1到光入射位置的距离 这时共用电极的电位比电极2高，电流I1十I2＝I0流向里面的共用电 极，PN结为反偏置工作状态，即P层电位比N层高。 根据电流就可以求出光斑的位置。 2二维PSD工作原理 求出入射点的位置 X方向的位置 或 Y方向的位置 或 特点 光电位置传感器具有响应速度快(几个微秒)， 位置分辨率高(全视场的1／1000)， 测量误差小(75％视场范围内的位置偏差为1．5％， 非线性误差为土10％)等特点。 使用时不需要精确调焦，并且即使光强变化也不产生位置误差。 它的灵敏度波长范围取决于所用的材料。可以同时测定光强和位置。 在激光准直、光点定位、仪器光轴重合调节、光学遥控以及振动和冲击的测量方面是一种新型的检测传感器。 例 (1)受光面积 LED通过聚光透镜在PSD上成像，测量该移动点像即可。根据简单的几何光学的计算，光点直径为5mm×20/200=0.05mm 光电移动范围 l000mm×20、200＝10mm 因此，选择受光面为1×12mm的一维PSD。 (2)信号光源与敏感波长范围 作为被测量对象、光源及PSD在外部有遮挡的情况下，由于周围的光不能进入PSD，在其敏感波长范围内采用任何光源都不会出问题。然而对于有些场合，通常白炽光、荧光、水银光、太阳光等人射到PSD上，则来自信号光源的光被淹没了。这时，要采用可见光截止型的窗口材料PSD，信号光源使用红外LED及白炽灯。 (3)电极间电阻以及反偏置电压与响应速度 在PSD受光面上光点位置高速移动时，以信号光源为脉冲灯光而消除周围的光成分时，PSD的响应时间，即上升时间和下降时间就会成为问题。PSD的电极间基本相当于电阻工作，因此，需要高速响应工作时，应选用电极间电阻小的PsD，加较大的反偏置电压而且电容较小状态下使用。响应时间约为1μ左右。 (4)位置检测误差 即实际的光点位置与检测的光点位置的差值，最大约为全受光长的2％一3％。PSD位置的检测精度也就相当于此程度，若要求更高的检测精度时，使用查表补偿或调整增益等。 （5）电极间电阻与位置分辨率 位置分辨率是指在PSD受光面上能检测的最小变位，用受光面上的距离表示。 应用举例 PSD可作为距离传感器，用一维PSD作为距离传感器检测距离时可利用三角测距的原理，如图所示。设测距范围为Ll(mm)一L2(mm)，物镜与成像透镜的光轴间距离为B(mm)，聚光透镜与PSD受光面间距离为f(mm)，则有 求入射位置的计算为 光照特性 在较小的负载电阻下，表现出较好的线性 光谱响应 决定于： ①表面层(半导体薄层与金属薄层)中的反射与吸收； ②材料的禁带宽度； ③表面抗反射涂层的性质与厚度； ④器件的结构。 频率响应 主要由载流子的渡越时间和RC时间常数来决定，可达几百兆赫兹 光电二极管的用法： 光电二极管的用法只能有两种。 一种是不加外电压，直接与负载相接。 另一种是加反向电压，如图所示。 a) 不加外电源? b) 加反向外电源? c) 2DU环极接法 伏安特性曲线 微变等效电路： 图d又是从图c简化来的，因为Cf很小，除了高频情况要考虑它的分流作用外，在低频情况下，它的阻抗很大，可不计。 因此具体应用时多用图d和图c两种形式。 τ = CfRL 流过负载的交变电流复振幅为 ： IL＝Ip·1/(1+jωτ) IL的模量为 当ω=1/τ时， f = 1/2πτ称为上限截