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分子动力学9lu分子动力学9lu
* 分子動力學 於薄膜沉積模擬之簡介 報告:河工所 劉如峯 基本原理 ? 以原子間相互作用之勢能為基礎, 再依統計物理原理 到該系統的特性 應用: 薄膜沉積時的微觀現象分析 薄膜成長模式 脈衝雷射沉積 低動能蒸鍍沉積 …… 物理模型(1) ? 入射原子:入射動能、入射角度、沉積速率 物理模型(2) ? 基板:固定層、溫度控制層自由運動層 勢能函數 ? 分為二體勢能及多體勢能 二體勢能 Lennard-Jones勢能:分為排斥能和吸引能 (2) Morse勢能: :能量單位 :原子直徑 :原子平衡距離 :內聚能 :彈性模數 邊界條件 在合理範圍內假設所模擬系統重複性為週期邊界條件 即最小映像法則: 截斷半徑為條件 溫度修正 Rescaling法:修正總動能達到等溫 Langevin法:修正運動方程式達到等溫 運動方程式 Gear五階預測修正算法: 以Taylor對時間 t 展開預測t+?t的物理量 根據勢能所算出的 進行修正 (2) Leap-Forg法: 直接求得 試算(1):勢能函數 Ni-Ni:Lennard-Jones勢能 *
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