热敏感与执行原理课件.ppt

第四章 热敏感与执行原理 热传感器与执行器概述 -热传感器 -热执行器 -热传递的基本原理 基于热膨胀的传感器与执行器 -热双层片基本原理 -单一材料组成的热执行器 热电偶 热电阻器 应用 微传感器实例---热学 微执行器制动方式实例---热执行器 热传感器与执行器概述---热传感器 热传感器包括两种含义：用于测量诸如温度和热等热学性质的传感器；（2）基于热传递原理的传感器。 热传感器与执行器概述---热执行器 微器件和结构的执行可以通过注入或抽走其中的热量来实现。温度分布的变化通过热膨胀、热收缩或者相变将导致机械位移或者力的输出。微结构通过吸收电磁波、欧姆热、热传导和热对流的热量，温度可以升高；而通过热传导散热、热对流散热、热辐射散热以及有源热电制冷，微结构的温度可以降低。 热执行原理已用于商业的MEMS产品中。现在很多喷墨打印机都是利用墨水的热膨胀来喷出墨滴。热喷墨打印机墨嘴的示意图如下图所示。 热传感器与执行器概述---热传递基本原理 微尺度下原子的振动证明了温度的存在。当材料中存在温度梯度时就会产生热传递。热量从一点传递到另一点有四种可能的机制： 1）传导，即当存在温度梯度时，热量通过固体媒介传递； 2）自然对流，即热量从表面传递到静止流体内部，流体里的温度梯度通过浮力引起了液体的局部流动，流体质量的运动促进了热传递； 3）强迫对流，即热量传递到运动流体的内部，这种内部流体运动比自然热对流引起的热传递要强； 4）辐射，即通过真空或空气中传播的电磁辐射引起热量的损失或增加。 基于热膨胀的传感器和执行器 热膨胀是材料的普遍行为。温度上升后，由半导体、金属、绝缘体材料构成结构的尺寸和体积都会变大。 热双层片原理 对于传感和执行而言，热双金属片效应是很常用的方法。这种效应可将微结构的温度变化转变为机械梁的横向位移。 热双层片由在纵向上连在一起的两种材料构成，两种材料构成一个机械单元。它们有相同的长度，但热膨胀系数（CTE)不同.当温度均匀变化△T时，两层的长度变化不一样。梁向热膨胀系数较小的材料层一侧弯曲。横向的梁弯曲由此产生。 许多常用的机电恒温器都运用了这一原理。恒温器是一个螺旋的双层金属线圈。卷丝梁的末端与继电器连接在一起，继电器是含水银的密封玻璃管。当环境温度变化时，线圈的末端倾斜并触发水银滴继电器的移动，从而控制加热/冷却电路中的电流。 例4.1 一个双层片悬臂梁由不同长度的两层构成。上面一层由铝制成（材料2），下面一层由氮化硅制成（材料1）。两层的宽度均为20um。A点到B点的长度为100um，从B电到C点的长度也是100um.铝和氮化硅的杨氏模量分别为为 。厚度是 。热膨胀系为 ，室温下，悬臂梁是直的。 相对于室温，梁均匀加热20℃，求悬臂梁的曲率半径（r）以及自由端的垂直位移量。 基于热膨胀的传感器和执行器---单一材料组成的热执行器 热双层片的弯曲很容易产生离面线性位移或角位移。如果分层的热双层片材料堆在垂直的表面上，就可以产生面内位移，但这种堆叠结构制作比较困难。 用弯梁电热执行器可产生面内位移，这是一种基于单一材料的热执行器。如右图所示，弯梁由掺杂到某一浓度的硅制成，并作为欧姆加热器，流经弯梁的电流致使两分支膨胀，导致顶端向横向方向移动。 与热阻和其他温度传感方法相比，热电偶有一些独特的优点。热电偶的输出没有失调和漂移。除了光之外，它不受任何物理信号的干扰，热电偶不需要加电压，而是自供电的。 热电阻器是温度传感器，通常由半导体氧化物制成，表现出很大的、性能优良的热系数，通常是负值。 一般所用的均为负温度系数（NTC）的热变电阻器，电阻用Steinhart-Hart方程计算 热电阻可由金属或半导体构成。在这两种情况下，热电阻的尺寸都随温度而变化。 常用的热敏电阻器是指半导体热电阻。半导体热敏电阻器具有大的电阻率和易于小型化的优点 热电阻I/V曲线的弯曲程度与绝缘热有关。对两个同样的热阻，在给定的电压下，热绝缘较好的一个将达到更高的温度和更大的热阻变化；相反的，热绝缘较差的器件平衡温度较低，它的I/V曲线的弯曲程度较小。 应用---惯性传感器 应用---流量传感器 应用---红外传感器 热电偶传感器 热电偶是测量热的最常用的传感器 工作原理：依靠两个不同金属线的末端产生的电动势，此电动势在两个导线的交节点（称为节点）被加热的情况下产生。 在热电偶电路中另外加一个节点，并且使其温度不同于其他节点的温度，这样就可以从电路中引入一个温度梯度。 热电偶原理微温度传感器的一个严重缺点：输出信号随着线和节点