tio2薄膜的的制备和细加工最终报告tio2薄膜的的制备和微细加工最终报告.doc

材料物理综合实验实验报告 实验题目：薄膜的制备和微细加工 物理与能源学院 材料物理专业 2012 级 材料物理 班 学 号： 135022012 姓 名： 指导老师： 王哲哲老师 2015 年 4月 20日 【摘要】本文旨在利用溶胶凝胶法制备薄膜，并测量薄膜的紫外分光光谱，以及测量热处理前后膜的稳定性、面积及厚度。探讨了薄膜厚度的主要影响因素，最后展望了薄膜未来的发展趋势。 【关键字】溶胶凝胶法、薄膜、膜厚度 0引言: 光催化研究从发现到产品的应用开发至今已有30年的历史,其应用领域仍在不断扩展。目前,国外的研究主要体现在产品化上。光催化剂具有氧化活性高、深度氧化能力强、活性稳定、抗湿性好和强力杀菌等优异性能,在降解废水中有机污染物、去除有害无机气体、杀菌和净化空气等方面具有广阔的应用前景。 纳米材料由于颗粒尺寸的微细化，使得纳米粉体在保持物质化学性质的同时，与块状材料相比，在磁性、光吸收、热阻、化学活性、催化和熔点等方面现出奇异的性能。纳米具有五大效应：1.体积效应，当纳米粒子的尺寸与传导电子的德布罗意波相当或更小时，周期性的边界条件将被破坏，磁性、内压、光吸收热阻、化学活性、催化性及熔点等都较普通粒子发生了很大的变化，这就是纳米粒子的体积效应；2.表面效应，表面效应是指纳米粒子表面原子与总原子数之比随着粒径的变小而急剧增大后所引起的性质上的变化，表现出很大的化学和催化活性；3.量子尺寸效应，粒子尺寸下降到一定值时，费米能级接近的电子能级由准连续能级变为分立能级的现象称为量子尺寸应；4.宏观量子隧道效应，微观粒子具有贯穿势垒的能力称为隧道效应；5.介电限域效应。这一系列效应导致了纳米材料在熔点﹑蒸气压﹑光学质﹑化学反应性﹑磁性﹑超导及塑性形变等许多物理和化学方面都显示出特殊的性能。基于上述特点，纳米具有广阔的应用前景。利用纳米作光催化剂，可处理有机废水，其活性比普通TiO2(约10μm)高得多；利用其透明性和散射紫外线的能力，可作食品包装材料、木器保护漆、人纤维添加剂、化妆品防晒霜等；利用其光电导性和光敏性，可开发一种感光材料。如何开发、应用纳米，已成为各国材料学领域的重要研究课题。 用溶胶-凝胶法制备薄膜具有设备低廉、、, 作为薄膜的制备方法已在光学领域获得应用。,还须 对其进行微细加工以获得微细图形 。 薄膜，并测量薄膜的稳定性以及形貌的表征。 1 实验目的1.1 用溶胶-凝胶法法制备光学薄膜；1.2 学习紫外掩膜辐照光刻法制备微细图形；1.3. 微细图形结构及形貌分析表征。 2 实验设备 仪器：紫外点光源、马弗炉、 提拉机、 光学显微镜、 磁力搅拌器等。 提拉机: 溶胶配置好后,可以采用旋涂法或提拉法来制得凝胶膜,本实验均采用后者:提拉机是提拉法制膜中用到的主要设备,用于薄膜制备时将基板从溶胶中以一定的速率匀速提起,从而在基板上得到一层厚度均匀稳定的凝胶薄膜,如图2-2所示。 紫外可见分光光度计: 紫外可见分光光度计主要用来测量薄膜在紫外可见光范围内的吸收率和透光率,用于评价薄膜的光学性能及凝胶中鳌合物的形成。本实验中薄膜的吸收率及透光率均是利用TU.1901双光束分光光度计,并用同种基板(石英玻璃)作参比而得到的。由紫外可见光光度计原理，A=log1/T,A是吸收度，T是透光率，用紫外测出A， 台阶仪： 台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。如图所示：其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。 3.1 溶胶凝胶法概念及原理 溶胶是指微小的有一定结构的固体颗粒悬浮，分散在液相中并不停地发生布朗运动的亚稳定态液状体系。根据粒子间相互作用的强弱，通常将溶胶分为亲液型和憎液型。由于界面原子的吉布斯自由能（G）比内部原子高，因此溶胶是热力学不稳定体系。若无其他条件限制，胶粒倾向于自发凝聚或聚合，从而达到较低表面积的稳定溶胶状态。若上述过程为可逆，则称为絮凝：若不可逆，则称为凝胶化。 凝胶是指胶体颗粒或高聚物分子相互交联。空间网格状结构不断发展，最终使得溶胶液逐步失去流动性，成为一种呈网状结构、其中充满液体的非流动半固体的分散系。凝胶在干燥后形成干凝胶或气凝胶，这时，它是一种充满孔隙的结构。并非所有的溶胶都能转化为凝胶，溶胶是否向凝胶发展，决定于胶粒间的相互作